[实用新型]异质结太阳能电池溅射设备传动惰轮自动调整装置有效
申请号: | 201220316235.8 | 申请日: | 2012-07-03 |
公开(公告)号: | CN202643834U | 公开(公告)日: | 2013-01-02 |
发明(设计)人: | 周文彬;刘幼海;刘吉人 | 申请(专利权)人: | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
主分类号: | C23C14/54 | 分类号: | C23C14/54;C23C14/34;H01L31/18 |
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地址: | 201707 上海市青*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 异质结 太阳能电池 溅射 设备 传动 自动 调整 装置 | ||
所属技术领域
本发明关于属于异质结太阳能电池溅射设备传动惰轮自动调整装置领域,具体涉及 一种异质结太阳能电池溅射设备传动惰轮自动调整装置。
背景技术
本实用新型系为异质结太阳能电池溅射设备传动惰轮自动调整装置,衬底传送进入溅射设备,沉积所需要的膜层,此动作完全藉由伺服控制器控制马达输出动能以皮带或链条的方式将动力传送到各个传动轮上,进而将衬底持续往一定方向带动,以完成整个溅射薄膜沉积程序。其中传动的稳定性又关系到溅射过程中薄膜沉积厚度的均匀性,若传动不稳定或速度忽快忽慢,就会有上述膜层厚度不均一的现象发生。现行传统的传动装置会在传动轮之间增设一个或数个惰轮,以调节皮带或链条的张力,使传动上不会产生跳齿空转的现象,然而此装置在使用一段时间后就必须检查皮带或链条张力,手动调整惰轮的上下位置以维持传动系统的稳定性,且通常要等到产品产生问题之后才能发现,增加产品报废重工的机率,也无法事前做预防性的矫正,对维护设备上来说是一极大困扰。
发明内容
本实用新型主要目的系提供异质结太阳能电池溅射设备传动惰轮自动调整装置,来解决上述的缺点,提供自动调节惰轮位置的功能,达到无需维护效果,使量产能持续进行不会因此而中断,并进一步达到掌握设备运行状态的目的。
本实用新型解决其技术问题所采用的方案是:
异质结太阳能电池溅射设备传动惰轮自动调整装置,其特征在于惰轮组固定座以螺钉固定住,先调整高度固定螺钉将基本安装位置确定,再锁上惰轮组固定螺钉,通过一段时间使用后,若皮带或链条张力松弛,惰轮组上方弹簧会将整个惰轮组向下推动,以维持皮带或链条再一定的张力,若皮带或链条张力过紧,其本身会有一向上力量将惰轮组弹簧压缩,使整个惰轮组向上移动,如此达到自动调整惰轮位置。
与现有技术相比较,采用上述技术方案本发明具有的优点在于:
1. 本实用新型提供异质结太阳能电池溅射设备传动惰轮自动调整装置,是在皮带或链条一侧接触,靠弹簧的伸缩对皮带或链条施压或放松,达到自动调节位置的目的。
2. 本实用新型提供异质结太阳能电池溅射设备传动惰轮自动调整装置,只需于传动间设置一组,无需设置多组,达到降低成本的需求。
3. 本实用新型提供异质结太阳能电池溅射设备传动惰轮自动调整装置,结构简单,易于组装,并可有效降低设备维修时间。
附图说明
图1系为本实用新型之结构示意图。
主要组件符号说明。
11...惰轮组固定座。
12...固定螺钉。
13...调整高度螺钉。
14...弹簧。
15...惰轮组。
17...惰轮组固定螺钉。
18...惰轮组固定长孔。
19...惰轮。
120...皮带或链条。
具体实施方式
为使方便简捷了解本实用新型之其他特征内容与优点及其所达成之功效能够更为显现,兹将本实用新型配合附图详细說明如下:
请参阅图1所示,本实用新提供异质结太阳能电池溅射设备传动惰轮自动调整装置,该装置是由惰轮组固定座11、固定座螺钉12、调整高度螺钉13、弹簧14、惰轮组15、惰轮组固定长孔18、惰轮组固定螺钉17、惰轮19及皮带或链条120锁组成。
所述之惰轮组固定座11,是一不锈钢长方形板。
所述之弹簧14,是一具有伸缩性的螺旋弹簧。
所述之惰轮组15,是一梯形不锈钢板,藉由惰轮组固定螺钉17固定在惰轮组固定座11上。
所述之惰轮组固定长孔18,是在惰轮组15上藉由机械加工出的长孔,使惰轮组固定螺钉17能上下活动。
所述之调整高度螺钉13,是一螺钉可上下调整惰轮组15高度。
为供进一步了解本实用新型构造特征、运用技术手段以及预期达成的功效,兹将本发明使用方式加以叙述如下:
本实用新型的组设,首先将惰轮组固定座11以固定螺钉12固定在相关位置;在将惰轮组固定螺钉17所固将整个惰螺组15固定在惰轮组固定座11上;再调整高度螺钉13以设置基本高度,使惰轮19接触皮带或链条120,使其有基本张力,既完成组装。
本实用新型在自动调整张力时,弹簧14会依照皮带或链条120的张力将整个惰轮组向下或向上调整,以达到自动调整的目的。此外所述之自动调整,无需使用气、油压缸、马达等须电能驱动的元器件,可节省能源的耗用;再者,本实用新型结构简单,装设容易,可有效降低成本。
综上所述,本实用新型在突破先前之技术结构下,确实已达到所欲增进之功效,且也非熟悉该项技艺者所易于思及,其所具之进步性、实用性,显已符合实用新型之申请要件,惟上列详细說明系针对本发明之一可行实施例之具体說明,该实施例并非用以限制本发明之专利范围,而凡未脱離本发明技艺精神所为之等效实施或变更,均应包含于本案之专利范围中。
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