[实用新型]溅镀治具有效
申请号: | 201220320327.3 | 申请日: | 2012-07-04 |
公开(公告)号: | CN202786412U | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 李智渊;黄耀贤;蔡硕文;蔡俊毅 | 申请(专利权)人: | 鉅永真空科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/34 |
代理公司: | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人: | 张雅军 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 溅镀治具 | ||
1.一种溅镀治具,包含一个第一平板结构,该第一平板结构具有一个上表面,及一个下表面;其特征在于:该第一平板结构还具有数个分别贯穿该上表面与该下表面的贯穿孔,而该溅镀治具还包含一个对应该第一平板结构且用于与该第一平板结构共同夹合数个待镀物的第二平板结构,所述待镀物分别对应容装于所述贯穿孔中。
2.根据权利要求1所述的溅镀治具,其特征在于:该第一平板结构的每一个贯穿孔都具有一个溅镀槽,及一个连通该溅镀槽且供该待镀物嵌置的容置槽,该溅镀槽呈中空开孔状,并具有一个连通该上表面的上开口,及一个相反于该上开口且邻近该容置槽的下开口,该容置槽呈中空状,并具有一个连通该溅镀槽的下开口的上开口、一个远离该溅镀槽且连通该下表面的下开口,及一个围绕在该上开口周围的遮挡面,该待镀物由该下开口进入该容置槽且靠置于该遮挡面。
3.根据权利要求2所述的溅镀治具,其特征在于:该第一平板结构的每一个贯穿孔中,该溅镀槽的该上开口的尺寸大于等于该溅镀槽的该下开口的尺寸,且该容置槽的该上开口的尺寸等于该溅镀槽的该下开口的尺寸。
4.根据权利要求1、2或3所述的溅镀治具,其特征在于:该第二平板结构具有一个上表面、一个下表面,及数个分别贯穿该上表面与该下表面且对应连通该第一平板结构的所述贯穿孔的贯穿孔,所述待镀物分别容置于该第一平板结构的所述贯穿孔与该第二平板结构的所述贯穿孔间。
5.根据权利要求4所述的溅镀治具,其特征在于:该第二平板结构的每一个贯穿孔都具有一个溅镀槽,及一个连通该溅镀槽且供该待镀物嵌置的容置槽,该溅镀槽呈中空开孔状,并具有一个连通该上表面的上开口,及一个相反于该上开口且邻近该容置槽的下开口,该容置槽呈中空状,并具有一个连通该溅镀槽的下开口的上开口、一个远离该溅镀槽且连通该下表面的下开口,及一个围绕在该上开口周围的遮挡面,该待镀物由该下开口进入该容置槽且靠置于该遮挡面,各待镀物都容置于相连通的该第一平板结构的容置槽与该第二平板结构的容置槽内。
6.根据权利要求5所述的溅镀治具,其特征在于:该第二平板结构的每一个贯穿孔中,该溅镀槽的该上开口的尺寸大于等于该溅镀槽的该下开口的尺寸,且该容置槽的该上开口的尺寸等于该溅镀槽的该下开口的尺寸。
7.根据权利要求1所述的溅镀治具,其特征在于:该第一平板结构的所述贯穿孔平行排列成数排,而且每一排贯穿孔的各贯穿孔都与其相邻排贯穿孔的相邻贯穿孔相互对齐。
8.根据权利要求1所述的溅镀治具,其特征在于:该第一平板结构的所述贯穿孔平行排列成数排,而且每一排贯穿孔的各贯穿孔都与其相邻排贯穿孔的相邻贯穿孔相互错置。
9.根据权利要求4所述的溅镀治具,其特征在于:该第一平板结构的所述贯穿孔平行排列成数排,而且每一排贯穿孔的各贯穿孔都与其相邻排贯穿孔的相邻贯穿孔相互对齐,该第二平板结构的所述贯穿孔平行排列成数排,而且每一排贯穿孔的各贯穿孔都与其相邻排贯穿孔的相邻贯穿孔相互对齐。
10.根据权利要求4所述的溅镀治具,其特征在于:该第一平板结构的所述贯穿孔平行排列成数排,而且每一排贯穿孔的各贯穿孔都与其相邻排贯穿孔的相邻贯穿孔相互错置,该第二平板结构的所述贯穿孔平行排列成数排,而且每一排贯穿孔的各贯穿孔都与其相邻排贯穿孔的相邻贯穿孔相互错置。
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