[实用新型]筒形舟

权利要求书

1.一种筒形舟，其特征是：包括一个上半圆舟（1）、一个下半圆舟（3）和两个圆形侧挡板（2）；上半圆舟（1）和下半圆舟（3）的两侧内壁上设有配合的挡片插放凹槽（5），两个侧挡板（2）分别位于该两侧的挡片插放凹槽（5）内；上半圆舟（1）和下半圆舟（3）的接触端面设有配合的台阶。

2.根据权利要求1所述的筒形舟，其特征在于：所述的上半圆舟（1）或/和下半圆舟（3）内两侧的挡片插放凹槽（5）之间的内壁上设有用于插放半导体圆片的刻槽（6）。

3.根据权利要求1或2所述的筒形舟，其特征在于：所述的上半圆舟（1）或/和下半圆舟（3）的端部设有推拉孔（4）。

4.根据权利要求3所述的筒形舟，其特征在于：所述的上半圆舟（1）、下半圆舟（3）、侧档板（2）为SIC、多晶硅或单晶硅棒料加工而成的上半圆舟、下半圆舟、侧档板。

5.根据权利要求1或2所述的筒形舟，其特征在于：所述的上半圆舟（1）、下半圆舟（3）内壁直径为Φ36∽170mm，长度为300∽850mm，壁厚为5∽15mm。

6.根据权利要求2所述的筒形舟，其特征在于：所述的刻槽（6）深度为2.0∽3.0mm，刻槽（6）间距为1.0∽3.0mm，刻槽（6）宽度为0.5∽2.0mm。