[实用新型]一种用于真空系统的多功能监测仪

权利要求书

1.一种用于真空系统的多功能监测仪，包括真空腔(1)和抽真空装置(2)，该真空腔(1)适于维持内部的真空，该抽真空装置(2)与该真空腔(1)密封连接并且能够对该真空腔(1)内部进行抽真空，其特征是，该多功能监测仪还包括：适于连接该真空系统的监测口(6)，该监测口(6)通过真空阀门(28)密封连接该真空腔(1)；残余气体分析装置(4)，该残余气体分析装置(4)包含四级质谱仪，该四极质谱仪密封连接该真空腔(1)并且能够监测三种以上的气体；储藏室(5)，该储藏室通过真空阀门(20)密封连接该真空腔(1)并且能够储存样品。

2.根据权利要求1所述的多功能监测仪，其特征是，该储藏室(5)包含：腔体(18)，与该腔体(18)密封连接并且能够让保护气体充入该腔体(18)内的充气阀(19)，以及设于该腔体(18)侧壁上并适于密封连接其它装置的接口(16)。

3.根据权利要求2所述的多功能监测仪，其特征是，该接口(16)能够密封连接观察窗或真空机械装置。

4.根据权利要求1所述的多功能监测仪，其特征是，该监测口(6)通过适配器与各种不同的该真空系统进行密封连接。

5.根据权利要求1所述的多功能监测仪，其特征是，该多功能监测仪包含可移动支架(7)。

6.根据权利要求5所述的多功能监测仪，其特征是，该可移动支架包括：用于支持和保护该多功能监测仪的框架(21)，能够帮助固定该框架(21)的结构的固定板(22、23、24)，能够放置物体的平台板(25)和工具盒(26)，以及设于该框架(21)底侧并能够使该框架(21)移动的滚轮(27)。

7.根据权利要求6所述的多功能监测仪，其特征是，该框架(21)由铝型材构成，该支撑板(24)、固定板(22、23)、平台板(25)和工具盒(26)均由铝制成。

8.根据权利要求6所述的多功能监测仪，其特征是，该滚轮(27)包含具有刹车装置的万向轮。