[实用新型]一种用于真空系统的多功能监测仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空仪器，特别涉及一种用于真空系统的多功能监测仪。

背景技术

一般来说，真空系统是指由真空泵、真空计、被抽容器及其它元件如真空阀门等，借助于真空管道，按一定要求组合而成，并具有所需抽气功能的抽气装置。它的功能是在一定的时间、空间内获得并保持特定真空环境，确保系统内某项工艺过程或物理过程的实施。真空系统在半导体、机械加工、物理、化学、材料和生物科学等各个研究领域都有着广泛的应用。

一些真空系统需要通过残余气体分析装置来对其中的残余气体进行分析，例如通过四极质谱仪对其内残余的三种以上气体进行质谱分析。这对于了解真空系统的状态以及认识真空中各种进程的演化具有参考和指导作用。例如，通过真空系统中的残余气体分析装置，可以实现对真空内气体的组分变化的实时监控，进一步把握真空系统中各种物理、化学反应的进行程度，有助于于工艺的改进和问题的发现。

一些真空系统需要进行检漏。真空检漏是保证真空系统真空度的关键步骤，而真空度又是真空系统的重要指标，真空度不好可能会造成样品表面污染、器件性能下降乃至仪器损坏等各种问题。对于大多数真空系统、容器、器件来说，造成真空度无法进一步提高的最主要因素是漏气。现有的检漏仪包括中国发明专利CN1122834C，名称为“有预真空泵的检漏仪”，其包括作为试样或测试腔接头的进口、检测器和真空泵机构。这种现有的普通检漏仪通常采用磁质谱仪来进行检漏，只能监测一种或两种示漏气体（例如氦气或氢气），因而用途单一，不能用于其它实验中的残余气体分析和质谱分析。

一些真空系统需要对该真空系统内的逸气进行检测。逸气是指真空系统的内部零件自内而外逸出气体的过程。除了漏气，逸气也是真空度上不去的一个主要原因。例如在表面上吸附了气体分子的内部零件，以及真空系统内部存有的在一定温度和气压下蒸发成气体的物质都是常见的逸气源。逸气源可以用残余气体分析的方法加以认定。

一些真空系统需要监测样品处理过程，以及储存某些易于受到污染的样品。这些样品在接触大气或其它气体之后可能会发生反应从而受到污染。在储存样品之前和/或之后，这些真空系统将对样品进行处理，例如提纯处理等，此时可能要通过残余气体分析装置监测样品的处理过程从而判断该处理效果是否达到要求。

现有技术中还没有兼具对真空系统进行残余气体分析、检漏、逸气检测、样品处理情况监测和样品储存等功能的多功能监测仪器。

实用新型内容

因此，本实用新型的目的是提供一种用于真空系统的多功能监测仪，该多功能监测仪兼具对真空系统进行残余气体分析、检漏、逸气检测、样品处理情况监测和样品储存功能。

为了实现上述目的，本实用新型的方案是提供一种用于真空系统的多功能监测仪，包括真空腔和抽真空装置。真空腔适于维持其内部的真空。抽真空装置与真空腔密封连接，并且能够对真空腔的内部抽真空。其中，多功能监测仪还包括：适于连接真空系统的监测口，该监测口通过真空阀门密封连接真空腔；残余气体分析装置，该残余气体分析装置包含四级质谱仪，该四极质谱仪密封连接真空腔并且能够监测三种以上的气体；储藏室，该储藏室通过真空阀门密封连接真空腔并且能够储存样品。通过适于连接其它真空系统的监测口和包含四极质谱仪的残余气体分析装置的协同作用，使得该多功能监测仪既能够实现残余气体分析、逸气检测，又能够针对一两种示漏气体进行检漏。另外，再加上储藏室后，使本实用新型还能够实现样品储存和样品处理情况监测，从而大大扩展了本实用新型的多功能监测仪的应用范围。

根据本实用新型的一个方案，储藏室包含：腔体，与腔体密封连接并且能够让保护气体充入腔体内的充气阀，以及设于腔体侧壁上并适于密封连接其它装置的接口。通过充气阀的设置，使得对样品的保护更为完善。而接口的设置则在很大程度上扩展了储藏室的应用范围，使其能够连接其它装置来对样品进行操作。

根据本实用新型的一个方案，接口能够密封连接观察窗或真空机械装置。连接观察窗便于实验人员对储藏室内的样品进行观察，连接真空机械装置便于对样品进行各种操作和处理。

根据本实用新型的一个方案，监测口通过适配器与各种不同的真空系统进行密封连接。这使得该多动能监测仪对各种不同功用的真空系统进行通用化的监测成为可能。