[实用新型]用于光电倍增管的排气台有效
| 申请号： | 201220331183.1 | 申请日： | 2012-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN202905652U | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 司永辉;滕人法;高建波;杨爱军 | 申请（专利权）人： | 北京滨松光子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/385 | 分类号： | H01J9/385 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100070 北京市丰台区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 光电倍增管 排气 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于光电倍增管的排气台，包括载物台、真空计、主控阀、真空泵、机械泵、供气阀、工作气体和温度控制系统，其特征在于：所述排气台还包括程序控制系统，所述主控阀和供气阀为电磁阀门，所述真空泵为分子泵。
2.如权利要求1所述用于光电倍增管的排气台，其特征在于：所述主控阀与载物台的连接处设有金属玻璃过渡装置。
3.如权利要求2所述用于光电倍增管的排气台，其特征在于：所述分子泵与机械泵之间设有前级阀，机械泵通过预抽阀与载物台连接，所述前级阀和预抽阀为电磁阀门。
4.如权利要求1所述用于光电倍增管的排气台，其特征在于：所述主控阀为插板阀。
5.如权利要求2或3所述用于光电倍增管的排气台，其特征在于：所述主控阀为插板阀。
6.如权利要求2或3所述用于光电倍增管的排气台，其特征在于：所述金属玻璃过渡装置为插接密封件或金属玻璃过渡节。
7.如权利要求5所述用于光电倍增管的排气台，其特征在于：所述金属玻璃过渡装置为插接密封件或金属玻璃过渡节。
8.如权利要求4或7所述用于光电倍增管的排气台，其特征在于：所述真空计为冷规。
9.如权利要求6所述用于光电倍增管的排气台，其特征在于：所述真空计为冷规。
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