[实用新型]用于光电倍增管的排气台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种排气台，特别是一种用于光电倍增管的排气台。

背景技术

光电倍增管是一种真空管，通过排气台制作其光电阴极面的过程称为排气过程。排气过程包括真空去气、气体充入、碱源等物质的导入与激活等步骤，排气过程中的杂质气体和各种工作气体的含量直接影响光电倍增管的性能，因此，在排气过程中要尽量减少排气台内的杂质气体，即提高排气台内的真空度，并且要严格控制各种工作气体的进气量。

传统技术中用于光电倍增管的排气台的结构框图如图1所示，该排气台主要包括载物台1、真空计2、主控阀3、真空泵4、机械泵5、供气阀6、工作气体7和温度控制系统8。真空泵4采用扩散泵，通过主控阀3与载物台1连接，并与机械泵5配合使用以调节真空度；供气阀6连接工作气体7与载物台1并控制各种气体的进气顺序和进气量；温度控制系统8用于控制排气各环节所需的温度环境。此外，在载物台1与主控阀3之间设有真空计2，根据真空计2的读数控制各阀门的工作状态。

但是，这种排气台必须使用玻璃材质的阀门，而玻璃材质的阀门要求工作人员手动进行控制，造成排气过程中工作人员要一直对排气台的电源、温度控制系统、阀门等各部分的工作状态进行看护，特别是在真空去气和碱源等物质的导入与激活步骤中，消耗了大量工时，严重地制约了工作效率的提高。

虽然可以采用电控玻璃阀门，如2008年10月1日公开的中国专利“全自动玻璃真空系统排气台”(公开号为CN101276717)中讲到的，通过可编程控制器实现电控玻璃阀门的自动接通和断开，以提高工作效率，但电控玻璃阀门的接通和断开过程是缓慢的，因而这种方式并不适用于光电倍增管这类对真空度和进气量要求较高的器件。

实用新型内容

本实用新型提供了一种用于光电倍增管的排气台，以解决现有技术中排气台工作效率低的问题。

本实用新型提供的用于光电倍增管的排气台包括载物台、真空计、主控阀、真空泵、机械泵、供气阀、工作气体和温度控制系统，其特征在于：所述排气台还包括程序控制系统，所述主控阀和供气阀为电磁阀门，所述真空泵为分子泵；

上述排气台中，主控阀与载物台的连接处设有金属玻璃过渡装置；分子泵与主控阀之间设有迷宫；分子泵与机械泵之间设有前级阀，机械泵通过预抽阀与载物台连接，且前级阀和预抽阀为电磁阀门；

上述排气台的主控阀为插板阀，玻璃金属过渡装置为插接密封件或金属玻璃过渡节。

与传统技术相比，本实用新型的排气台有如下优点：

1)采用电磁阀门和分子泵，通过程序控制系统不但可以实现整个排气过程的自动化控制，在无人看护的夜间自动进行排气过程，大大提高了工作效率，而且可以采用手动操作的方式，使得该排气台的使用方式非常灵活；

2)与扩散泵相比，由于分子泵具有较快的抽气速度并且不会产生油性杂质气体，使得排气台具有更高的极限真空度；

3)由于采用电磁阀门，当真空计的读数达到设定值时，电磁阀门能够瞬间闭合，因而可以对排气台内各种气体的进气量进行严格控制。

附图

图1为传统技术中用于光电倍增管的排气台结构框图。

图2为本实用新型中用于光电倍增管的排气台结构框图。

具体实施方式

如图2所示，本实用新型的排气台结构包括载物台1、真空计20、主控阀30、真空泵40、机械泵5、供气阀60、工作气体7、温度控制系统8和程序控制系统90。