[实用新型]一种用于真空镀膜设备的双层密封结构

说明书

[技术领域]

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种用于真空镀膜设备的双层密封结构。

[背景技术]

真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。真空镀膜的先决条件是要确保真空腔室具有良好稳定的真空度。目前，真空镀膜设备密封形式多采用单根橡胶圈密封，这种密封形式适用于较小密封面的密封，对于较大密封面采用该种密封方式容易出现密封效果不佳的问题。尤其对于经常开闭的盖板，橡胶圈受反复作用力以及温度和其他环境因素的影响下，很容易产生异常变形和老化，缩短橡胶圈的使用寿命。橡胶圈一旦在局部某处产生异常变形和老化，就会影响镀膜设备真空度的获得；而且因需经常更换密封件，极大的影响着生产连续、正常的进行。

[实用新型内容]

本实用新型就是为了解决现有技术中的不足，提供一种结构新颖，密封性能更可靠，稳定性好的一种用于真空镀膜设备的双层密封结构。

为实现上述目的，提供一种用于真空镀膜设备的双层密封结构，包括密封法兰1、光面法兰2、 内层密封圈3、外层密封圈4、支架5、密封槽6、泄气槽7、泄气孔8和真空泵，其特征在于所述密封法兰1的密封面上开设有密封槽6，密封槽6内设有内层密封圈3和外层密封圈4，内层密封圈3和外层密封圈4之间开设有泄气槽7，泄气槽7上设有泄气孔8 ，泄气槽7通过泄气孔8连接真空管道一端，真空管道另一端连接真空泵。

所述的内层密封圈3和外层密封圈4嵌于同一密封槽6内。

所述的内层密封圈3和外层密封圈4之间通过支架5隔开。

所述的支架5分为若干段，通过螺钉固定于密封法兰1上，支架5下表面开设有泄气槽7。

所述的内层密封圈3和外层密封圈4分别嵌于相互独立的两密封槽内。

所述的内层密封圈3和外层密封圈4 在螺栓力或者重力和压差力的作用下压紧光面法兰2，形成双层密封结构。

本实用新型同现有技术相比，其采用了双层密封圈的结构，使得密封性能更可靠；且不会因其中一根密封圈的失效而影响真空腔体的密封性，延长了大面积密封结构的使用寿命。同时，本密封结构具有结构简单，易安装、拆卸的优点。

[附图说明]

图1为本实用新型实施例1的结构示意图；

图2为本实用新型实施例2的结构示意图；

如图所示，图中：1为密封法兰  2为光面法兰  3为内层密封圈  4为外层密封圈  5为支架  6为密封槽  7为泄气槽  8为泄气孔  9为真空腔室；

指定图1为本实用新型的摘要附图。

[具体实施方式]

下面结合附图对本实用新型作进一步说明，这种装置的结构和原理对本专业的人来说是非常清楚的。

本实用新型解决为一种用于真空镀膜设备的双层密封结构，包括真空泵，真空泵通过真空管道与法兰上泄气孔连接，其特征在于：它由内层密封圈、外层密封圈以及密封法兰和光面法兰组成。密封法兰密封面上开有密封槽，内层密封圈和外层密封圈嵌于密封槽内；两密封圈间开有泄气槽，法兰体上开有一泄气孔，泄气槽通过泄气孔以及真空管道与真空泵相连，通过真空泵可以把两密封圈间的气体排出，形成真空，提高密封效果。两密封圈在螺栓力或者重力和压差力的作用下压紧光面法兰，形成双层密封。

在上述主要技术方案的基础上，可以增加以下进一步完善的技术方案：

内层密封圈和外层密封圈可嵌于同一密封槽内，密封法兰密封面上只需开一个密封槽，简化了密封槽结构，减小了加工难度。同一密封槽内的内外两层密封圈间通过支架隔开，支架同时起到固定密封圈的作用。支架可分为若干段，通过螺钉固定于密封法兰体上，支架下表面开有泄气槽，用于排出两密封圈间的气体。内层密封圈和外层密封圈也可分别嵌于相互独立的两密封槽内，无需支架固定，节约了支架成本。双层密封结构既可垂直安装，也可水平安装；对于垂直安装的形式，两法兰间通过螺栓连接，如镀膜腔体与腔体之间的密封；对于水平安装的形式，两密封圈在密封法兰的重力以及压差力的作用下压紧光面法兰，如盖板与腔体间的密封，则可省去螺栓连接。

实施例一：