[实用新型]一种TFT阵列检测框架及检测设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及薄膜场效应晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，TFT-LCD)制造工艺的基板电路电学特性测试领域，特别涉及TFT阵列的检测设备-阵列测试机台(Array tester)的探针框架。

背景技术

TFT-LCD制造过程大概可以分为三个阶段：

(1)TFT阵列工艺即简称Array工艺，在一张较大的玻璃基板上形成若干独立的TFT阵列电路形成TFT阵列基板，每个像素阵列区对应一个液晶显示屏(panel)；

(2)对盒工艺，在TFT阵列基板上涂布液晶，覆盖彩色滤光片，对盒成LCD面板并切割成独立的液晶显示屏；

(3)模组工艺，为液晶显示屏安装背光源，偏振片以及周边电路，形成完整的TFT-LCD显示模块。

在Array工艺中，通过半导体中常用的掩膜-曝光工艺，在玻璃基板上形成TFT阵列电路，TFT阵列电路的优劣直接决定了TFT-LCD的品质，因此对于TFT阵列电路、即TFT阵列基板的检测也就成为制造流程中的重要工序。

图1为传统的阵列检测设备的结构示意图，采用传统阵列检测设备进行TFT阵列基板检测时，探针框架5上安装的检测探针1与TFT阵列基板中的信号输入端2接触，测试信号通过探针框架5的检测探针1加载到TFT阵列基板3中，通过检测探头4模拟液晶显示原理，达到测试的目的，在测试中如何能够快速准确地将所需要的信号加入到TFT阵列基板3中是测试的关键。

如图1的传统阵列检测设备中的金属的检测探针1固定在探针框架5上的固定位置，因此，针对不同型号的产品，TFT阵列基板上的信号输入端2位置不同。如图2所示，19寸(由虚线7指示的位置)和14.1寸(由虚线8指示的位置)的TFT阵列基板的信号输入端在X方向和Y方向的位置都不同。这就导致需要购买不同型号的检测探针框架来进行不同产品型号TFT阵列基板的检测，造成生产成本的增加。

另外，传统阵列检测设备中的检测信号加载过程如图3所示。检测探针1连接在外部信号输入端子12上，检测信号加在外部信号输入端子12上，通过检测探针1扎在TFT阵列基板的信号输入端2完成信号的加载。在这个过程中如果检测探针1出现问题很容易将TFT阵列基板扎碎，造成不必要的损失。另外，由于检测探针1直径较小，因此，也比较容易折断而造成死机。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种TFT阵列检测框架及检测设备，用于解决现有TFT阵列检测框架兼容性差，其上的检测探针容易损坏及容易造成阵列基板损坏的技术问题。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种TFT阵列检测框架，包括：主框架9、固定支架10、紧固件11、外部信号输入端子12、滑动杆13、弹性导电部件14；

在固定支架10上开有多个并列的调节孔15，紧固件11穿过调节孔15将主框架9和固定支架10连接在一起；

外部信号输入端子12的头部与弹性导电部件14接触，尾部与位于固定支架10上的滑动杆13连接；

弹性导电部件14固定在固定支架10内侧，由导电弹性导电部件和绝缘弹性导电部件相互间隔组成。

上述方案中，多个外部信号输入端子12并列与滑动杆13垂直固定连接。

上述方案中，固定支架10位于主框架9上方一边或多个边。

上述方案中，所述弹性导电部件由高性能硅橡胶为基料、配以填料和助剂形成。

上述方案中，所述填料为铜镀银、铝镀银、玻璃镀银或石墨镀镍颗粒。

上述方案中，每个阵列基板的信号输入端2最少对应两根弹性导电部件。

本实用新型通过用弹性导电部件代替检测探针，并且弹性导电部件固定支架和TFT检测框架位置可调，从而实现多种型号的产品共用一个TFT检测框架。本实用新型不仅节省了购买各种型号TFT检测框架的费用，同时还能够彻底解决由于探针损坏扎碎阵列基板而造成的不必要损失。

附图说明

图1为传统的阵列检测框架的结构示意图；

图2为不同型号产品的信号输入端的位置示意图；

图3为传统TFT阵列检测信号加载结构示意图；

图4为本实用新型提供的TFT阵列检测框架的立体结构示意图；

图5为本实用新型提供的TFT阵列检测信号加载结构示意图。

附图元件说明：