[实用新型]晶圆检测装置和晶圆定位装置

权利要求书

1.一种晶圆检测装置，其特征在于，包括：

一检测台；

一移动平台，平放在所述检测台上表面；

一目检显微镜，位于所述移动平台的上方；

两个传感器，分别固定在所述检测台相邻的两侧表面；

一中央控制单元，与所述两个传感器相连。

2.如权利要求1所述晶圆检测装置，其特征在于：所述移动平台还包括：连接移动平台并控制移动平台横向和纵向平行移动的手动拉杆。

3.如权利要求1所述晶圆检测装置，其特征在于：所述移动平台通过卡槽固定在所述检测台的上表面。

4.如权利要求1所述晶圆检测装置，其特征在于：所述目检显微镜还包括连接目检显微镜并控制目检显微镜上下和左右移动的活动部件。

5.如权利要求1所述晶圆检测装置，其特征在于：所述两个传感器通过两把磁尺安装在检测台相邻的两侧表面。

6.如权利要求5所述晶圆检测装置，其特征在于：每把磁尺长度大于等于其所在的检测台侧表面的长边长度的一半。

7.如权利要求5所述晶圆检测装置，其特征在于：两把磁尺通过螺丝安装固定在所述检测台的相邻两侧表面上。

8.如权利要求5所述晶圆检测装置，其特征在于：每个传感器通过螺丝固定安装在对应的磁尺上。

9.如权利要求1所述晶圆检测装置，其特征在于：所述中央控制单元还包括用于将已有晶圆CP图谱的数据格式转化为所述目测显微镜直接读取的数据格式的格式转化模块。

10.如权利要求1所述晶圆检测装置，其特征在于：所述中央控制单元通过一数据读取器与两个传感器相连。

11.如权利要求10所述晶圆检测装置，其特征在于：所述数据读取器与两个传感器通过电缆相连。

12.如权利要求1所述晶圆检测装置，其特征在于：所述中央控制单元还包括用于存储已有晶圆CP图谱的存储模块以及用于根据数据读取器的数据将晶圆上的对准方块实际位置与所述对准方块在已有晶圆物理图谱中的位置进行对准的对准模块。

13.一种晶圆定位装置，其特征在于，包括：

一机台；

一移动平台，平放在所述机台上表面；

一目检显微镜，位于所述移动平台的上方；

两个传感器，分别固定在所述机台相邻的两侧表面；

一中央控制单元，与所述传感器相连。

14.如权利要求11所述晶圆定位装置，其特征在于：所述移动平台还包括：连接移动平台并控制移动平台横向和纵向平行移动的手动拉杆。

15.如权利要求11所述晶圆定位装置，其特征在于：所述移动平台通过卡槽固定在所述机台的上表面。

16.如权利要求11所述晶圆定位装置，其特征在于：所述目检显微镜还包括连接目检显微镜并控制目检显微镜上下和左右移动的活动部件。

17.如权利要求11所述晶圆定位装置，其特征在于：所述两个传感器通过两把磁尺安装在机台相邻的两侧表面。

18.如权利要求15所述晶圆定位装置，其特征在于：每把磁尺长度大于等于其所在的机台侧表面的长边长度的一半。

19.如权利要求15所述晶圆定位装置，其特征在于：两把磁尺通过螺丝安装固定在所述机台的相邻两侧表面上。

20.如权利要求15所述晶圆定位装置，其特征在于：每个传感器通过螺丝固定安装在对应的磁尺上。

21.如权利要求11所述晶圆定位装置，其特征在于：所述中央控制单元通过一数据读取器与两个传感器相连。

22.如权利要求19所述晶圆定位装置，其特征在于：所述数据读取器通过电缆与两个传感器相连。

23.如权利要求11所述晶圆定位装置，其特征在于：所述中央控制单元还包括用于将已有晶圆电子图谱的数据格式转化为所述目测显微镜直接读取的数据格式的格式转化模块。

24.如权利要求11所述晶圆定位装置，其特征在于：所述中央控制单元还包括用于存储已有晶圆电子图谱的存储模块以及用于根据数据读取器的数据将晶圆上的对准方块实际位置与所述对准方块在已有晶圆物理图谱中的位置进行对准的对准模块。