[实用新型]一种基板输送装置及显影机

说明书

技术领域

本实用新型涉及液晶显示器制造技术领域，尤其涉及一种基板输送装置及显影机。

背景技术

通常，在平面显示装置的制造工序中，在玻璃基板上形成电路图形的过程，可包括清洗基板的工序、在己清洗的基板表面涂敷感光性树脂而形成感光膜的工序、通过预定图案曝光所述感光膜而进行显影（developing）的工序。

这种显示器的制造工序中，显影工序利用现有的显影液供给装置来对基板涂敷显影液。这种显影工序，可采用向盛有显影液的腔室通过基板的方式或者采用喷射装置向基板喷射显影液的方式进行。而这种显影装置，包括用于向腔室供给显影液的显影液供给装置和用于输送基板的输送装置。

其中现有的基板输送装置一般采用一侧倾斜的结构，如图1所示，包括：第一输送部11、具有倾斜角度a的第二输送部12，图中的第一输送部在开始工作时为水平状态，当将基板输送到第二输送部12上时，有与之连接的驱动装置驱动第一输送部倾斜一角度a与第二输送部12的倾斜角度相匹配。

对于高世代基板的彩色虑光片膜的制程中，基板在显影机中始终保持倾斜角度输送，用以提高显影液在基板表面的流动性，但是由于输送装置的倾斜始终为一个方向，因此造成了彩色滤光片膜各层的线宽均匀性较差问题的产生。

如图2及图3所示，为现有技术中高世代基板某层线宽的均匀性概况，图中圆圈直径代表此区域线宽的大小，图3中，R1~R9为每个区域线宽的平均值。

很明显的可以看出，彩色滤光片膜各层的线宽均匀性较差，R1的线宽小于R9的线宽平均值。

实用新型内容

针对现有技术中存在的上述问题，本实用新型提供一种基板输送装置及显影机，解决了基板在通过显影与冲洗区的传送装置时，由于显影液在基板上流动，而使彩色滤光片膜各层的线宽均匀性较差的问题。

为实现解决上述问题，本实用新型一方面提供了一种基板输送装置，应用于显影装置中，包括：输送带及驱动装置，所述驱动装置驱动输送带运送基板，所述输送带包括：用于输送所述基板的第一输送部；与所述第一输送部的一端连接第二输送部；所述输送装置还包括：角度控制装置，

所述角度控制装置与所述第一输送部及所述第二输送部连接，所述角度控制装置使所述第一输送部与水平面在第一设定方向上成第一设定角度；并且

所述角度控制装置使所述第二输送部与水平面在第二设定方向上成第二设定角度，所述第一设定方向与所述第二设定方向反向。

优选的，所示第一块输送部的前端设有一过渡部，所述第二块输送部的末端也设有一过渡部。

优选的，所述输送带还包括：第三输送部，设置在所述第一输送部及所述第二输送部之间，通过调节所述第三输送部的倾斜角度，使所述基板由所述第一输送部传输到所述第二输送部。

优选的，所述第三输送部与所述角度控制装置相连接。

优选的，所述第三输送部上设有位置传感器，当所述位置传感器检测到所述基板到达所述第三输送部上时，由所述角度控制装置调节所述第三输送部的倾斜角度与所述第一输送部的倾斜角度相匹配，并当所述基板过渡到所述第三输送部上时，进一步调节所述第三输送部的倾斜角度与所述第二输送部的倾斜角度相匹配。

优选的，所述设定角度的大小为0°~10°。

优选的，所述第一设定方向为与所述基板传输的方向垂直的方向。

优选的，所述第三传送部上设有提供向上倾斜或向下倾斜的连接部件。

优选的，所述驱动装置具体为自由电动机、气缸及步进电动机中的一个或组合。

本实用新型实施例另一方面还提供了一种显影机，包括：所述的基板输送装置。

本实用新型实施例与现有技术相比具有以下优点：

采用本实用新型实施例提供的基板输送装置及显影机，通过驱动装置驱动输送带运送基板，其中输送带包括：用于输送基板的第一输送部，与所述第一输送部的一端连接第二输送部；所述第一输送部以及第二输送部均与一角度控制装置连接，该角度控制装置可以使所述第一输送部与水平面在第一设定方向上成第一设定角度；并且所述角度控制装置使所述第二输送部与水平面在第二设定方向上成第二设定角度，所述第一设定方向与所述第二设定方向反向。通过将输送带设计成可以向上倾斜及向下倾斜一设定角度的各输送部，使显影液在基板上的流动方向可以进行调节，不致于只向一侧流动，而导致彩色滤光片膜的线宽均匀性较差的现象，防止了显影液在基板表面的堆积。

附图说明

图1为现有技术中显影机基板输送装置结构示意图；