[实用新型]高纯气体输送设备

权利要求书

1.高纯气体输送设备，由气瓶柜、VMB组成；其特征在于：气瓶柜与VMB相连；气瓶柜内部设有钢瓶、主进气管路A、排气管路A、吹净管路、G-N₂抽气管路、P-N₂进气管路、H-N₂进气管路、磅秤；钢瓶设置于磅秤上，主进气管路A与钢瓶连接，主进气管路A在进气方向上依次设置有高压侧压力传感器、高压侧主管路气动阀、主管路调压阀、低压侧压力传感器、主管路过滤器、低压侧主管路气动阀、主进气管路A手动阀，主进气管路A在高压侧压力传感器与高压侧主管路气动阀间、主管路过滤器与低压侧主管路气动阀间分别与高压侧排气管路、低压侧排气管路连接，高压侧排气管路上设有高压侧排气管路气动阀，低压侧排气管路上设有低压侧排气管路气动阀，高压侧排气管路、低压侧排气管路合并为排气管路A，排气管路A在排气方向上依次设有排气管路压力传感器、排气管路高压气动阀；排气管路A与G-N₂抽气管路连接，G-N₂抽气管路在G-N₂进气方向上依次设有抽气管路气动阀、真空产生器A，其中真空产生器A设置在排气管路A与G-N₂抽气管路连接部位；主进气管路A在进气端与高压侧压力传感器之间的部位设置有吹净管路，吹净管路在进气方向上依次设有吹净管路压力传感器、吹净管路气动阀，吹净管路分别与P-N₂进气管路、H-N₂进气管路相连，并分别在连接部位设有吹净管路低压气动阀、吹净管路高压气动阀，P-N₂进气管路上设有P-N₂进气管路气动阀；VMB内部设有主进气管路B、支管路、P-N₂吹净管路、排气管路B、EQ-N₂抽气管路；主进气管路B与气瓶柜内部的主进气管路A相连，主进气管路B在进气方向上依次设有主管路手动阀、主管路压力表、主管路气动阀、管路遮断阀，主进气管路B与支管路连接，支管路在进气方向上依次设有支管路手动阀、高压侧支管路气动阀、支管路调压阀、低压侧支管路压力传感器、支管路过滤器、低压侧支管路手动阀；支管路在支管路手动阀与高压侧支管路气动阀间、低压侧支管路压力传感器与支管路过滤器间分别与P-N₂吹净管路、排气管路B连接；P-N₂吹净管路在进气方向上依次设有吹净管路低压手动阀、吹净管路压力表、吹净管路手动阀；排气管路B上设有排气管路手动阀，排气管路B与EQ-N₂抽气管路相连，EQ-N₂抽气管路在EQ-N₂进气方向上依次设有抽气管路手动阀、真空产生器B，其中真空产生器B设置在排气管路B与EQ-N₂抽气管路连接部位。