[实用新型]高纯气体输送设备

说明书

技术领域：

本实用新型专利涉及一种气体输送设备，特别涉及一种气体压力及流量供应稳定的高纯气体输送设备。

背景技术：

光伏、光纤、LED、LCD及半导体等行业中常用到许多高纯气体，随着行业的不断发展，生产规模不断扩大，对于高纯气体的需求量也越来越大，但因为技术所限，目前高纯气体输送设备常常存在供应能力不足的问题，气体压力及流量不稳定，无法保证进行正常稳定的生产。

实用新型内容：

本实用新型专利的目的在于提供一种气体压力及流量供应稳定的高纯气体输送设备。

为了实现上述目的，本实用新型提出如下技术方案实现：

高纯气体输送设备，由气瓶柜、VMB组成；其特征在于：气瓶柜与VMB相连；气瓶柜内部设有钢瓶、主进气管路A、排气管路A、吹净管路、G-N₂抽气管路、P-N₂进气管路、H-N₂进气管路、磅秤；钢瓶设置于磅秤上，主进气管路A与钢瓶连接，主进气管路A在进气方向上依次设置有高压侧压力传感器、高压侧主管路气动阀、主管路调压阀、低压侧压力传感器、主管路过滤器、低压侧主管路气动阀、主进气管路A手动阀，主进气管路A在高压侧压力传感器与高压侧主管路气动阀间、主管路过滤器与低压侧主管路气动阀间分别与高压侧排气管路、低压侧排气管路连接，高压侧排气管路上设有高压侧排气管路气动阀，低压侧排气管路上设有低压侧排气管路气动阀，高压侧排气管路、低压侧排气管路合并为排气管路A，排气管路A在排气方向上依次设有排气管路压力传感器、排气管路高压气动阀；排气管路A与G-N₂抽气管路连接，G-N₂抽气管路在G-N₂进气方向上依次设有抽气管路气动阀、真空产生器A，其中真空产生器A设置在排气管路A与G-N₂抽气管路连接部位；主进气管路A在进气端与高压侧压力传感器之间的部位设置有吹净管路，吹净管路在进气方向上依次设有吹净管路压力传感器、吹净管路气动阀，吹净管路分别与P-N₂进气管路、H-N₂进气管路相连，并分别在连接部位设有吹净管路低压气动阀、吹净管路高压气动阀，P-N₂进气管路上设有P-N₂进气管路气动阀；VMB内部设有主进气管路B、支管路、P-N₂吹净管路、排气管路B、EQ-N₂抽气管路；主进气管路B与气瓶柜内部的主进气管路A相连，主进气管路B在进气方向上依次设有主管路手动阀、主管路压力表、主管路气动阀、管路遮断阀，主进气管路B与支管路连接，支管路在进气方向上依次设有支管路手动阀、高压侧支管路气动阀、支管路调压阀、低压侧支管路压力传感器、支管路过滤器、低压侧支管路手动阀；支管路在支管路手动阀与高压侧支管路气动阀间、低压侧支管路压力传感器与支管路过滤器间分别与P-N₂吹净管路、排气管路B连接；P-N₂吹净管路在进气方向上依次设有吹净管路低压手动阀、吹净管路压力表、吹净管路手动阀；排气管路B上设有排气管路手动阀，排气管路B与EQ-N₂抽气管路相连，EQ-N₂抽气管路在EQ-N₂进气方向上依次设有抽气管路手动阀、真空产生器B，其中真空产生器B设置在排气管路B与EQ-N₂抽气管路连接部位。

本实用新型专利可解决的技术问题是：

在气瓶柜内部的主进气管路A上设置有高压侧压力传感器、低压侧压力传感器，钢瓶设置在磅秤上，在VMB内部的主进气管路B上设置有主管路压力表，支管路上设置有低压侧支管路压力传感器，通过这些压力传感器和磅秤可以随时监控输送通道内气体的压力值以及钢瓶内的液化气体余量，当出现气体压力异常时可以通过主管路调压阀以及支管路调压阀及时调整气体压力，当磅秤显示钢瓶内余量不足是，能及时更换钢瓶，保证了气体压力及流量的稳定供应；VMB内部的多条支管路提供了充足的高纯气体供应，可以满足生产需要，保证了生产的正常进行。

附图说明：

图1为本实用新型结构图。

具体实施方式：