[实用新型]一种PECVD射频电极接头

权利要求书

1.一种PECVD射频电极接头，其特征在于，包括：

电极接口，所述电极接口包括具有插槽结构的电极接口本体（11），所述电极接口本体（11）的内壁嵌设有定位滚珠（14），所述电极接口本体（11）的外壁上套设有电极接口滑动座（12），所述电极接口滑动座（12）上开设有用于同所述定位滚珠（14）配合的第一凹槽，且所述电极接口滑动座（12）的一侧通过弹簧（16）连接于所述电极接口本体（1），所述弹簧（16）能够提供沿轴向远离所述插槽的槽底方向的回复力；

电极插口，包括具有用于同所述插槽结构配合的插头结构的电极插口本体（19），所述电极插口本体（19）还具有用于同所述电极接口滑动座（12）与所述弹簧（16）相对一侧相抵的底座结构，且所述插头结构的外壁上开设有用于同所述定位滚珠（14）配合的第二凹槽。

2.根据权利要求1所述的PECVD射频电极接头，其特征在于，所述第一凹槽和所述第二凹槽均为半球形凹槽。

3.根据权利要求2所述的PECVD射频电极接头，其特征在于，所述半球形凹槽的边缘部分倒有圆角。

4.根据权利要求1所述的PECVD射频电极接头，其特征在于，所述定位滚珠（14）具体为金属滚珠。

5.根据权利要求4所述的PECVD射频电极接头，其特征在于，所述定位滚珠（14）具体为定位钢珠。

6.根据权利要求1所述的PECVD射频电极接头，其特征在于，所述电极接口本体（11）上设置有用于防止所述电极接口滑动座（12）脱离的卡簧（15）。

7.根据权利要求1所述的PECVD射频电极接头，其特征在于，所述电极接口本体（11）的所述插槽结构内和所述电极插口本体（19）的所述插头结构上分别设置有用于传递高频电信号的电极接口连接部（13）和电极插口连接槽。

8.根据权利要求7所述的PECVD射频电极接头，其特征在于，所述电极插口连接槽内设置有弹性件。

9.根据权利要求8所述的PECVD射频电极接头，其特征在于，所述弹性件具体为三片金属弹片（18）。

10.根据权利要求1-9的任意一项所述的PECVD射频电极接头，其特征在于，所述插槽结构的内壁和所述插头结构的外壁上的相应部分分别具有相互配合的锥形面。