[实用新型]芯片清洗烘干线

权利要求书

1.芯片清洗烘干线，包括芯片清洗机，其特征在于：还包括烘干机(B)，所述烘干机(B)包括封闭式的烘干柜(1)，所述烘干柜(1)内设置一对托住芯片两侧边的传送带(2)，所述传送带(2)的上方和下方设置互相对应的分别连接有若干风机(4)的风室(3)，所述上方和下方的风室(3)连通为对芯片(F)进行烘干的烘干通道(5)，传送带(2)的进入端和输出端设置与烘干通道(5)连通的带有排风装置的排风口(8)，所述烘干通道(5)内对应传送带(2)的上方和下方设置烘干加热管(6)。

2.根据权利要求1所述的芯片清洗烘干线，其特征在于：所述风室(3)对应风机(4)的位置设置烘干过滤网(9)。

3.根据权利要求1或2所述的芯片清洗烘干线，其特征在于：所述烘干通道(5)外表面敷设保温材料。

4.根据权利要求3所述的芯片清洗烘干线，其特征在于：所述烘干通道(5)内传送带(2)的上方和下方设置检测温度的热电偶(10)。

5.根据权利要求3所述的芯片清洗烘干线，其特征在于：所述烘干加热管(6)的外侧套装反射罩(7)。

6.根据权利要求1所述的芯片清洗烘干线，其特征在于：所述传送带(2)的输出端设置对芯片进行定位的定位台(E)，所述定位台(E)包括支架(51)，支架(51)的下面设置与芯片(F)尺寸对应的由提升气缸(53)推动做上下运动的提升台面(52)，支架(51)的上表面设置环绕提升台面(52)的定位机构，所述定位机构包括两个相邻的垂直固定在支架(51)上表面的固定挡板(54)，还包括两个相对固定挡板(54)设置的由动力气缸(56)驱动推动芯片(F)运动的活动挡片(55)。

7.根据权利要求1、2、6任一项所述的芯片清洗烘干线，其特征在于：所述芯片清洗机为后端设置风切机构(C)的喷淋式清洗装置，所述喷淋式清洗装置包括封闭的喷淋柜(D)，喷淋柜(D)内的上部设置一对承载芯片两侧边的喷淋传送带(24)，喷淋柜(D)内的下部设置封闭的第一喷淋液容器(21)，第一喷淋液容器(21)连接出两条由水泵(27)和电磁阀(26)控制的喷淋管路(28)，所述两条喷淋管路(28)分别位于喷淋传送带(24)所承载的芯片(F)的上方和下方并设置对应芯片(F)的喷嘴(29)，喷淋传送带(24)下部设置一上端开口的收集喷淋后的残液的过渡容器(23)，过渡容器(23)通过设置有过滤网(25)的管路连接到第一喷淋液容器(21)。

8.根据权利要求7所述的芯片清洗烘干线，其特征在于：所述喷淋式清洗装置的喷淋柜(D)内还设置与第一喷淋液容器(21)并联设置在过渡容器(23)下方的用于切换喷淋液的第二喷淋液容器(22)。

9.根据权利要求7所述的芯片清洗烘干线，其特征在于：所述喷淋式清洗装置的喷淋液为温度100摄氏度的超纯水。

10.根据权利要求7所述的芯片清洗烘干线，其特征在于：所述风切机构(C)包括封闭的风切柜(31)，风切柜(31)内设置一对运输芯片(F)的风切传送带(32)，风切传送带(32)的上方设置连接有若干风切风机(33)的第一风室(34)，第一风室(34)通过进风管道(36)与位于风切传送带(32)下方的第二风室(35)连通，所述进风管道(36)上设置减压阀(37)，第一风室(34)对应风切风机(33)处设置有风切过滤网(38)，所述第一风室(34)和第二风室(35)对应风切传送带(32)的位置设置互相对应的位于风切传送带(32)的垂直面内与芯片(F)成一定角度的切向出风口(39)。