[实用新型]芯片清洗烘干线

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种芯片清洗生产线，具体的说是一种对微生物芯片进行清洗和烘干的生产线。

背景技术

近年来，微生物技术发展迅猛，微生物芯片被广泛应用于生物、医药等各个领域。微生物芯片的制备过程相当严格，在生产、切割、运输等途中，微生物芯片的表面容易被污染，而微生物芯片作为一种以微米为制备单位的工件，生产中工件须经严格清洗，否则，即使微量污染也会导致最终产品器件的失效。因此，微生物芯片的清洗成为重要的工艺环节，并且此清洗过程都要求很高的洁净度。

清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于表面。其中，有机污染包括有机溶剂残留、以及人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等，这些污染物严重影响后期产品检测率；而颗粒污染则包括玻璃渣、塑料颗粒、尘埃、细菌、微生物、有机胶体纤维等，会导致各种缺陷。清除污染的方法包含物理清洗、化学清洗两种模式。

微生物芯片清洗后，为去除表面残留水珠，还需进行烘干操作，现有的烘干机多借助冷风吹干，虽然可以去除水珠，但是可能留下水印，不仅影响外观，还可能带来二次污染。

实用新型内容

本实用新型需要解决的技术问题是提供一种自动化程度高、不会留下水印的芯片清洗烘干线。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：

芯片清洗烘干线，包括芯片清洗机，还包括烘干机，所述烘干机包括封闭式的烘干柜，所述烘干柜内设置一对托住芯片两侧边的传送带，所述传送带的上方和下方设置互相对应的分别连接有若干风机的风室，所述上方和下方的风室连通为对芯片进行烘干的烘干通道，传送带的进入端和输出端设置与烘干通道连通的带有排风装置的排风口，所述烘干通道内对应传送带的上方和下方设置烘干加热管。

本实用新型的进一步改进在于：所述风室对应风机的位置设置烘干过滤网。

本实用新型的进一步改进在于：所述烘干通道外表面敷设保温材料。

本实用新型的进一步改进在于：所述烘干通道内传送带的上方和下方设置检测温度的热电偶。

本实用新型的进一步改进在于：所述烘干加热管的外侧套装反射罩。

本实用新型的进一步改进在于：所述传送带的输出端设置对芯片进行定位的定位台，所述定位台包括支架，支架的下面设置与芯片尺寸对应的由提升气缸推动做上下运动的提升台面，支架的上表面设置环绕提升台面的定位机构，所述定位机构包括两个相邻的垂直固定在支架上表面的固定挡板，还包括两个相对固定挡板设置的由动力气缸驱动推动芯片运动的活动挡片。

本实用新型的进一步改进在于：所述芯片清洗机为后端设置风切机构的喷淋式清洗装置，所述喷淋式清洗装置包括封闭的喷淋柜，喷淋柜内的上部设置一对承载芯片两侧边的喷淋传送带，喷淋柜内的下部设置封闭的第一喷淋液容器，第一喷淋液容器连接出两条由水泵和电磁阀控制的喷淋管路，所述两条喷淋管路分别位于喷淋传送带所承载的芯片的上方和下方并设置对应芯片的喷嘴，喷淋传送带下部设置一上端开口的收集喷淋后的残液的过渡容器，过渡容器通过设置有过滤网的管路连接到第一喷淋液容器。

本实用新型的进一步改进在于：所述喷淋式清洗装置的喷淋柜内还设置与第一喷淋液容器并联设置在过渡容器下方的用于切换喷淋液的第二喷淋液容器。

本实用新型的进一步改进在于：所述喷淋式清洗装置的喷淋液为温度100摄氏度的超纯水。

本实用新型进一步改进在于：所述风切机构包括封闭的风切柜，风切柜内设置一对运输芯片的风切传送带，风切传送带的上方设置连接有若干风切风机的第一风室，第一风室通过进风管道与位于风切传送带下方的第二风室连通，所述进风管道上设置减压阀，第一风室对应风切风机处设置有风切过滤网，所述第一风室和第二风室对应风切传送带的位置设置互相对应的位于风切传送带的垂直面内与芯片成一定角度的切向出风口。

由于采用了上述技术方案，本实用新型取得的技术进步是：