[实用新型]用于抽取蚀刻液回收系统中的气体的装置

权利要求书

1.用于抽取蚀刻液回收系统中的气体的装置，其特征在于：包括内部中空的壳体，所述壳体内部设置有旋转叶片（6），壳体下方设置有支撑装置（9），壳体连接有电机（10），电机（10）与旋转叶片（6）连接，所述壳体设置有与其内部相通的进风口（8）和出风口（1），且出风口（1）设置在进风口（8）的上方。

2.根据权利要求1所述的用于抽取蚀刻液回收系统中的气体的装置，其特征在于：所述壳体包括形状相同的壳体一（3）和壳体二（4），且壳体一（3）和壳体二（4）紧密贴合为整体结构，电机（10）与壳体一（3）连接。

3.根据权利要求2所述的用于抽取蚀刻液回收系统中的气体的装置，其特征在于：所述进风口（8）设置在壳体二（4）上，且壳体二（4）上设置有导气环（7），导气环（7）与旋转叶片（6）连通，进风口（8）设置在导气环（7）内部。

4.根据权利要求3所述的用于抽取蚀刻液回收系统中的气体的装置，其特征在于：所述导气环（7）与壳体二（4）通过螺钉（5）连通。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的用于抽取蚀刻液回收系统中的气体的装置，其特征在于：所述出风口（1）的端口上设置有固定环（2），且固定环（2）的内径与出风口（1）的内径尺寸相同，固定环（2）的外径大于出风口（1）的外径。