[实用新型]一种基板清洗装置

权利要求书

1.一种基板清洗装置，包括滚刷主体和驱动所述滚刷主体旋转的驱动装置，所述滚刷主体外表面具有刷毛，其特征在于，所述滚刷主体还具有： 

液体流动腔室，位于所述滚刷主体内部，所述液体流动腔室贯穿所述滚刷主体的长度方向，所述液体流动腔室具有两个进液口，分别位于所述滚刷主体的两个端面； 

每一个所述进液口处设有转动时将液体吸入所述液体流动腔室内的半开式叶轮，所述叶轮包括多个叶片和一个端盖，其中每一个所述叶片的一端固定于所述端盖，且每一个所述叶片与所述滚刷主体之间相对固定； 

至少一个喷射通道，内端开口位于所述液体流动腔室内壁，外端开口位于所述滚刷主体外表面。 

2.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，所述液体流动腔室内壁设有螺纹状导水沟道，所述螺纹状导水沟道的旋向和所述滚刷主体的旋转方向相同，每一个所述喷射通道的内端开口位于所述螺纹状导水沟道内。 

3.根据权利要求2所述的基板清洗装置，其特征在于，所述喷射通道延伸方向与所述导水沟道的涡流方向相同。 

4.根据权利要求3所述的基板清洗装置，其特征在于，所述刷毛与所述喷射通道的外端开口间隔排列。 

5.根据权利要求4所述的基板清洗装置，其特征在于，所述刷毛呈螺纹状固定于所述滚刷主体外表面。 

6.根据权利要求1~5任一项所述的基板清洗装置，其特征在于，所述液体流动腔室内贯穿一根带有螺旋轮片的涡轮杆，所述涡轮杆和所述滚刷主体同轴固定。 

7.根据权利要求6所述的基板清洗装置，其特征在于，所述驱动装置为伺服马达，所述滚刷主体一端设置磁传动磁盘，所述滚刷主体一端设置的磁传动磁盘与动力系统伺服马达连接的磁传动磁盘磁连接。