[实用新型]一种基板清洗装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体清洗设备技术领域，特别是涉及一种涡轮式液刷混合作用的基板清洗装置。 

背景技术

如图1所示，目前在液晶显示器制造工艺中基板清洗及半导体制造行业基板清洗装置主要包括滚刷主体01和驱动滚刷主体01的驱动装置，目前，市场上所供应的基板清洗装置中，滚刷主体01为实心不锈钢金属，滚刷主体01的外壁具有呢绒材质的刷毛02。驱动装置驱动滚刷主体01运动，并通过刷毛02对基板进行清洁。 

但是，上述基板清洗装置中的滚刷主体01中液体无法与刷毛02同时作用，没有自清洁能力，需定期人工清洗。 

实用新型内容

本实用新型提供一种半导体制造行业基板清洗装置，该清洗装置的刷毛能够实现自清洁。 

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案： 

一种涡轮式液刷混合作用基板清洗装置，包括： 

滚刷主体和驱动所述滚刷主体旋转的驱动装置，所述滚刷主体外表面具有刷毛，所述滚刷主体还具有： 

液体流动腔室，位于所述滚刷主体内部，所述液体流动腔室贯穿所述滚刷主体的长度方向，所述液体流动腔室具有两个进液口，分别位于所述滚刷主体的两个端面； 

每一个所述进液口处设有转动时将液体吸入所述液体流动腔室内的半开式叶轮，所述叶轮包括多个叶片和一个端盖，其中每一个所述叶片的一端固定于所述端盖，且每一个所述叶片与所述滚刷主体之间相对固定; 

至少一个喷射通道，内端开口位于所述液体流动腔室内壁，外端开口位于所述滚刷主体外表面。 

优选地，所述液体流动腔室内壁设有螺纹状导水沟道，所述螺纹状导水沟道的旋向和所述滚刷主体的旋转方向相同，所述喷射通道的内端开口位于所述螺纹状导水沟道内。 

优选地，所述喷射通道延伸方向与所述导水沟道的涡流方向相同。 

优选地，所述刷毛与所述喷射通道的外端开口间隔排列。 

优选地，所述刷毛呈螺纹状固定于滚刷主体外表面。 

优选地，所述液体流动腔室内贯穿一根带有螺旋轮片的涡轮杆，所述涡轮杆和所述滚刷主体同轴固定。 

优选地，所述驱动装置为伺服马达，所述滚刷主体一端设置磁传动磁盘，所述滚刷主体一端设置的磁传动磁盘与动力系统伺服马达连接的磁传动磁盘磁连接。 

本实用新型提供的基板清洗装置，包括：滚刷主体和驱动所述滚刷主体旋转的驱动装置，所述滚刷主体外表面具有刷毛，所述滚刷主体还具有： 

液体流动腔室，位于所述滚刷主体内部，所述液体流动腔室贯穿所述滚刷主体的长度方向，所述液体流动腔室具有两个进液口，分别位于所述滚刷主体的两个端面； 

每一个所述进液口处设有转动时将液体吸入所述液体流动腔室内的半开式叶轮，所述叶轮包括多个叶片和一个端盖，其中每一个所述叶片的一端固定于所述端盖，且每一个所述叶片与所述滚刷主体之间相对固定; 

至少一个喷射通道，内端开口位于所述液体腔室内壁，外端开口位于所述滚刷主体外表面。 

本实用新型提供的基板清洗装置，在使用过程中，驱动装置驱动滚刷主体转动，液体通过进液口进入液体流动腔室内，并通过喷射通道喷出，从而实现液体与刷毛同时作用，实现自清洁。 

所以，本实用新型提供的基板清洗装置使刷毛能够实现自清洁。 

另外本实用新型提供的基板清洗装置由于内部设有液体流动腔室，可以减轻其自身重量，驱动负荷小，可大幅度延长附属部品使用寿命。 

附图说明

图1为现有滚刷主体结构示意图； 

图2为涡流式液刷混合作用滚刷主体整体图； 

图3为涡流式液刷混合作用滚刷主体沿着滚刷主体轴向横截面图； 

图4为涡流式液刷混合作用滚刷主体内部剖面图； 

图5带有涡杆装置的滚刷主体内部横截面图。 

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。 

请参考图2和图3；其中，图2为本实用新型的整体图；图3为本实用新型沿着滚刷主体轴向横截面图。 

本实用新型提供的基板清洗装置，包括：滚刷主体1和驱动滚刷主体1旋转的驱动装置，滚刷主体1外表面具有刷毛11，滚刷主体1还具有：