[实用新型]一种晶体生长装置有效
申请号: | 201220423534.1 | 申请日: | 2012-08-24 |
公开(公告)号: | CN202830217U | 公开(公告)日: | 2013-03-27 |
发明(设计)人: | 刘景峰 | 申请(专利权)人: | 北京奇峰蓝达光学科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人: | 尹振启;陈志 |
地址: | 100016 北京市朝*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 装置 | ||
1.一种晶体生长装置,其特征在于,包括钨制保温罩,在保温罩内设置有盛放晶体原材料的钨制坩埚,在坩埚上方设置有钨制提拉杆,围绕坩埚设置有钨制加热器,保温罩顶壁设置有透孔,所述提拉杆下端设置有籽晶,提拉杆向上穿过透孔,可做上下运动和周向旋转。
2.如权利要求1所述的生长装置,其特征在于,所述坩埚设置在托架上,坩埚下方设置有热量反射罩。
3.如权利要求1所述的生长装置,其特征在于,所述保温罩内设置有钨制电极做成的支架,钨制加热器通过所述钨制电极悬挂在坩埚周围。
4.如权利要求1所述的生长装置,其特征在于,所述保温罩通过设置在罩体外侧的吊杆悬置。
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