[实用新型]酸性蚀刻液循环再生系统有效
| 申请号： | 201220423840.5 | 申请日： | 2012-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN202717848U | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 韦建敏;赵兴文;张小波;张晓蓓;吴圣杰 | 申请（专利权）人： | 成都虹华环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 谢敏 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 酸性 蚀刻 循环 再生 系统 | ||
【权利要求书】：
1.酸性蚀刻液循环再生系统，其特征在于：包括依次连接的蚀刻生产线用水设备（1）、中转母液罐（2）、母液罐（3）、酸性蚀刻液循环再生设备组（7）、再生子液罐（8）、配液罐（9）、过滤器（10）、子液罐（11），所述相邻的两个部件之间还连接有高压泵。
2.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液循环再生系统，其特征在于：所述酸性蚀刻液循环再生设备组（7）包括三通电子阀门（4）和两个彼此并联的酸性蚀刻液循环再生设备（5），所述三通电子阀门（4）的两个出口端分别连接两个彼此并联的酸性蚀刻液循环再生设备（5）。
3.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液循环再生系统，其特征在于：所述酸性蚀刻液循环再生设备组（7）还连接有铜粉回收离心机（6）。
4.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液循环再生系统，其特征在于：所述酸性蚀刻液循环再生系统全部采用封闭式循环结构。
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