[实用新型]吸盘

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械手领域，更具体地，涉及一种吸盘。

背景技术

现有技术中的机械手的吸盘包括设置在吸盘中部的圆形垫片、间隔设置在圆形垫片的外圈的环形垫片和设置在圆形垫片与圆形垫片间隔处的气孔。吸盘工作时，吸盘放置在待吸物(例如，硅片等)的表面，通过外部的吸气系统从气孔中抽气，于是，待吸物在吸气的作用下，吸附贴合在圆形垫片和环形垫片上，从而随着机械手的移动而移动。

由于待吸物(例如，硅片)镀膜后，其表面易存有小颗粒(例如，氮化硅颗粒)，因而导致在吸取待吸物的过程中，小颗粒处于待吸物与吸盘之间，从而造成待吸物出现裂纹或破损的问题，提高了待吸物的使用成本。另外，由于吸气的作用，在吸附的过程中小颗粒会朝向吸盘的中间位置移动，从而导致待吸物的裂纹和破损主要集中在与吸盘的中部相对应的位置处。

实用新型内容

本实用新型旨在提供一种吸盘，以解决现有技术中因待吸物与吸盘之间存在小颗粒而导致待吸物裂纹、破损的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种吸盘，包括：盘体，盘体包括第一表面、第二表面和气孔；凸起部，凸起部突出地设置在第一表面上并围成凹部，且凸起部围绕凹部的周向连续地设置，气孔设置在与凹部相对应的位置处，气孔由第一表面向第二表面的方向延伸并贯穿盘体。

进一步地，凸起部包括至少两个依次套设的环状的第一凸起部，第一凸起部与第一表面连接，至少两个第一凸起部及盘体的第一表面之间形成凹部。

进一步地，凸起部还包括多个第二凸起部，第二凸起部与第一凸起部相交，第一凸起部、第二凸起部及盘体的第一表面之间形成多个凹部。

进一步地，盘体的相对于每个凹部处分别设置有多个气孔。

进一步地，第二凸起部沿盘体的径向设置，多个第二凸起部呈放射状分布。

进一步地，吸盘还包括吸气辅助件，吸气辅助件可拆卸地安装在盘体的第二表面上。

进一步地，吸气辅助件包括集气壳，集气壳与盘体连接，集气壳包括与盘体的气孔连通的腔体。

进一步地，集气壳包括壳体和机械手连接件，机械手连接件与壳体相连接。

进一步地，壳体包括第一吸气孔，机械手连接件包括与第一吸气孔对应设置的第二吸气孔，第二吸气孔通过第一吸气孔与腔体连通。

进一步地，吸气辅助件还包括凸块，凸块设置在腔体内并与盘体连接，凸块的外表面与壳体的内壁之间形成气体通道，盘体上的气孔通过气体通道与第一吸气孔连通。

本实用新型的第一表面上设置周向连续的凸起部，形成用于与待吸物接触的吸附面，并在盘体上与凹部相对应的位置处设置有贯穿于盘体的气孔。使用时，通过对气孔抽气可在凹部与待吸物之间形成真空气腔，从而将待吸物吸起。由于吸附面是由凸起部形成的，所以减小了吸盘与待吸物之间的接触面积、降低了待吸物出现裂纹和破损的危险。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1示意性示出了本实用新型中的盘体的仰视图；

图2示意性示出了图1中A-A方向的剖视图；

图3示意性示出了本实用新型中的盘体的俯视图；

图4示意性示出了本实用新型中的集气壳的俯视图；

图5示意性示出了图4中B-B方向的剖视图；

图6示意性示出了本实用新型中的凸块的结构示意图；以及

图7示意性示出了图6的俯视图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明，但是本实用新型可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。

本实用新型提供了一种吸盘。如图1至图7所示，吸盘包括：盘体10和凸起部14。其中，盘体10包括第一表面11、第二表面12和气孔13。凸起部14突出地设置在第一表面11上并围成凹部15，且凸起部14围绕凹部15的周向连续地设置，由于凸起部14是周向连续地设置，从而使得在吸附的过程中凸起部14、第一表面11和待吸物所围成的凹部15可以形成真空气腔，因而可以将待吸物牢牢地吸住、且不会由于机械手的移动而发生待吸物掉落的情况。气孔13设置在与凹部15相对应的位置处，气孔13由第一表面11向第二表面12的方向延伸并贯穿盘体10。