[实用新型]硅芯棒组件和多晶硅还原炉

权利要求书

1.一种硅芯棒组件，用以设置在多晶硅还原炉中沉积多晶硅，其特征在于，该硅芯棒组件包括竖立安装的两根立棒和连接所述两根立棒的一根横棒，所述横棒的两端分别榫接在所述两根立棒的顶端。

2.如权利要求1所述的硅芯棒组件，其特征在于，在所述横棒的两端形成有榫头，在所述立棒上开设与所述榫头配合的榫槽，所述立棒与所述横棒的直径相同，所述榫头的长度等于所述立棒的直径。

3.如权利要求2所述的硅芯棒组件，其特征在于，所述榫头的外侧具有堵头。

4.如权利要求3所述的硅芯棒组件，其特征在于，所述榫头和所述榫槽的横截面均为矩形。

5.如权利要求4所述的硅芯棒组件，其特征在于，所述榫槽的宽度为所述立棒直径的三分之一，所述榫头的宽度为所述横棒的直径的三分之一。

6.如权利要求5所述的硅芯棒组件，其特征在于，所述榫槽的深度为所述立棒直径的三分之二至四分之三。

7.如权利要求6所述的硅芯棒组件，其特征在于，所述立棒的直径为7毫米，所述榫槽的深度为5毫米。

8.如权利要求3所述的硅芯棒组件，其特征在于，所述榫槽和所述榫头的截面均为直角梯形。

9.如权利要求3所述的硅芯棒组件，其特征在于，所述榫槽和所述榫头的截面均为等腰梯形，所述梯形的侧边与底边所成的角度大于90且小于等于95度，所述榫槽的深度为所述立棒直径的三分之二至四分之三。

10.一种多晶硅还原炉，其特征在于，所述多晶硅还原炉的每一对电极上安装一组权利要求1-9任一所述的硅芯棒组件。