[实用新型]层间偏移测量装置

权利要求书

1.一种层间偏移测量装置，其特征在于：其至少包含有：

一对位靶标（10），系设于待测物上，该对位靶标（10）设有与该待测物相对应之复数层体（11），各层体（11）于该对位靶标（10）处设有导电层（12），该对位靶标（10）于导电层（12）处设有至少一镀通孔以及一接地孔（137），该导电层（12）系与该接地孔（137）接触，而与该镀通孔隔离相对；

至少一测试探针（20），该测试探针（20）系可伸入接触对应之镀通孔；

一接地探针（30），该接地探针（30）系可伸入接触对应之接地孔（137）；

一输入电压（50），系与该接地探针（30）连接；

一电压侦测模块（60），系与测试探针（20）形成电性连接；以及一显示模块（70），系与该电压侦测模块（60）连接，可将电压侦测结果显示于该显示模块（70）上。

2.根据权利要求1所述的一种层间偏移测量装置，其特征在于：其中，该对位靶标于导电层处依序设有第一、第二、第三、第四、第五以及第六镀通孔（131、132、133、134、135、136），该导电层（12）依序与各镀通孔（131、132、133、134、135、136）分别形成有1、2、3、4、5、6mil之间距。

3.根据权利要求1或2所述的一种层间偏移测量装置，其特征在于：其中，该电压侦测模块（60）系设有复数与各测试探针（20）相对应连接之测试单元（61）。

4.根据权利要求3所述的一种层间偏移测量装置，其特征在于：其中，该显示模块（70）系设有复数与各测试单元（61）相对应之显示区（71）。

5.根据权利要求4所述的一种层间偏移测量装置，其特征在于：其中，该待测物为多层印刷电镀板，其包含硬板、软板、软硬板或高密度互连板。

6.根据权利要求4所述的一种层间偏移测量装置，其特征在于：其中，各测试探针（20）与接地探针（30）设置于一检测平台（40）上。

7.根据权利要求4所述的一种层间偏移测量装置，其特征在于：其中，该显示模块（70）为计算机之显示屏，而该显示模块（70）进一步连接有打印器。