[实用新型]蓝宝石晶体生长用可调节保温系统

权利要求书

1.一种蓝宝石晶体生长用可调节保温系统，包括上部隔热屏(1)、保温筒(2)、侧部隔热屏(4)、坩埚隔热屏(5)、下部隔热屏(6)、底板(7)、外桶体(9)、锅位调节托盘(10)和坩埚托盘(12)，所述底板(7)设置在外桶体(9)内，所述坩埚托盘(12)安装在锅位调节托盘(10)上，所述锅位调节托盘(10)通过支柱(11)安装在底板(7)上，坩埚托盘(12)上设置坩埚(13) ，坩埚隔热屏(5)设置在坩埚(13)的顶部；所述保温筒(2)安装在底板(7)上，所述侧部隔热屏(4)竖直设置在底板(7)上包住保温筒(2)，所述上部隔热屏(1)安装在外桶体(9)顶部，下部隔热屏(6)安装在底板(7)的上表面，上部隔热屏(1)、保温筒(2)和下部隔热屏(6)一起包住坩埚(13)，其特征是：所述外桶体(9)底部安装有氧化锆底座(3)，所述底板(7)通过井字架(8)安装在氧化锆底座(3)上，所述氧化锆底座(3)由底盘内圈(31)、底盘中圈(32)和底盘外圈(33)三圈构成，所述底盘中圈(32)和底盘外圈(33)支撑井字架(8)，底盘内圈(31)活动安装。

2.如权利要求1所述的蓝宝石晶体生长用可调节保温系统，其特征是：所述的保温筒(2)为钨筒。

3.如权利要求2所述的蓝宝石晶体生长用可调节保温系统，其特征是：所述的保温筒(2)由上筒(21)、中筒(22)和下筒(23)三部分活动拼装而成。

4.如权利要求1~3中任意一权利要求所述的蓝宝石晶体生长用可调节保温系统，其特征是：所述上部隔热屏(1)包括上屏钼盘(42)、隔热片组(43)和连接柱(45)，所述连接柱(45)顶端通过固定螺母(41)安装在上屏钼盘(42)上，隔热片组(43)设置在连接柱(45)的下部，上屏钼盘(42)与隔热片组(43)之间的连接柱(45)外套装有套筒(44)。

5.如权利要求1~3中任意一权利要求所述的蓝宝石晶体生长用可调节保温系统，其特征是：所述下部隔热屏(6)由钨隔热片和钼隔热片组合而成，所述钨隔热片设置在下部隔热屏(6)的顶面和底面，钼隔热片设置在下部隔热屏(6)的中间，钨隔热片的厚度大于钼隔热片的厚度。