[实用新型]蓝宝石晶体生长用可调节保温系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及蓝宝石晶体生长炉领域，尤其涉及一种生长炉保温系统。 

背景技术

使用泡生法或泡生法改良方法，如冷心放肩微提拉法生长大尺寸蓝宝石晶体时，保证了大尺寸晶体生长，整个过程结晶遗传特性良好 ，材料品质优良．通过高精度的能量控制配台微量提拉，使得在整个晶体生长过程中明显的热扰动，缺陷萌生的几率较其他方法明显降低．热场更均匀，从而保证单品生长成功率。 

由于冷心放肩微提拉法生长工艺的调整、改进，晶体不被提出坩埚，在晶体仍处于热态时．可精确控制它的冷却速度，减少热应力；但是现有的生长炉无法满足此类要求，以及各炉台之间的不可控差别等因素，生产过程中对于热场的调节是必须的。然而通常所使用的保温系统在加工完成后无法再进行较大的改动，不能满足实际生产要求。 

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种蓝宝石晶体生长用可调节保温系统，通过可灵活调节的上部隔热屏、钨桶、氧化锆底座、下隔热屏，使该保温系统能够满足保温系统易调整的要求。 

本实用新型是这样实现的：一种蓝宝石晶体生长用可调节保温系统，包括上部隔热屏、保温筒、侧部隔热屏、坩埚隔热屏、下部隔热屏、底板和外桶体，所述底板设置在外桶体内，所述坩埚托盘安装在锅位调节托盘上，所述锅位调节托盘通过支柱安装在底板上，坩埚托盘上设置坩埚，坩埚隔热屏设置在坩埚的顶部；所述保温筒安装在底板上，所述侧部隔热屏竖直设置在底板上包住保温筒，所述上部隔热屏安装在外桶体顶部，下部隔热屏安装在底板的上表面，上部隔热屏、保温筒和下部隔热屏一起包住坩埚，所述外桶体底部安装有氧化锆底座，所述底板通过井字架安装在氧化锆底座上，所述氧化锆底座由底盘内圈、底盘中圈和底盘外圈三圈构成，所述底盘中圈和底盘外圈支撑井字架，底盘内圈活动安装。 

所述的保温筒为钨筒。 

所述的保温筒由上筒、中筒和下筒三部分活动拼装而成。 

所述上部隔热屏包括上屏钼盘、隔热片组和连接柱，所述连接柱顶端通过固定螺母安装在上屏钼盘上，隔热片组设置在连接柱的下部，上屏钼盘与隔热片组之间的连接柱外套装有套筒。 

所述下部隔热屏由钨隔热片和钼隔热片组合而成，所述钨隔热片设置在下部隔热屏的顶面和底面，钼隔热片设置在下部隔热屏的中间，钨隔热片的厚度大于钼隔热片的厚度。   

本实用新型蓝宝石晶体生长用可调节保温系统通过可灵活调节的上部隔热屏、钨桶、氧化锆底座、下隔热屏，使该保温系统能够满足泡生法及其改良方法生长蓝宝石晶体的实际生产中，因工艺改动、炉台差别所需要的保温系统易调整的要求。

附图说明

图1为本实用新型蓝宝石晶体生长用可调节保温系统结构示意图； 

图2为上部隔热屏立体结构示意图；

图3为上部隔热屏截面示意图；

图4为保温筒结构示意图；

图5为氧化锆底座结构示意图。

图中：1上部隔热屏、2保温筒、3氧化锆底座、4侧部隔热屏、5坩埚隔热屏、6下部隔热屏、7底板、8井字架、9外桶体、10锅位调节托盘、11支柱、12坩埚托盘、13坩埚、21上筒、22中筒、23下筒、31底盘内圈、32底盘中圈、33底盘外圈、41固定螺母、42上屏钼盘、43隔热片、44套筒、45连接柱。 

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型表述的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。 

实施例1