[实用新型]一种真空处理装置及其射频滤波器、射频滤波器盒

权利要求书

1.一种用于真空处理装置的射频滤波器，其中，所述真空处理装置包括一腔室，在腔室的下方包括一容纳有若干射频滤波器的射频滤波器盒，所述射频滤波器至少包括一圆环状铁氧体，所述铁氧体上缠绕有线圈，其特征在于：

所述若干射频滤波器两两重叠放置，在两个所述射频滤波器之间还放置有绝缘块，其中，所述绝缘块的两个表平面分别接触于该两个射频滤波器的一表平面。

2.根据权利要求1所述的射频滤波器，其特征在于，所述射频滤波器盒包括一绝缘板，在该绝缘板上竖直固定有第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板上具有若干第一通孔，所述第一通孔和所述铁氧体上的第二通孔以及所述绝缘块上的第三通孔可以通过一螺钉穿过并固定。

3.根据权利要求2所述的射频滤波器，其特征在于，所述绝缘板外围设置有一接地板，所述接地板连接有接地端。

4.根据权利要求1所述的射频滤波器，其特征在于，所述所述射频滤波器盒包括一绝缘板，所述绝缘板上具有第四通孔，所述第四通孔和所述铁氧体上的第二通孔以及所述绝缘块上的第三通孔可以通过一螺钉穿过并固定。

5.根据权利要求4所述的射频滤波器，其特征在于，所述绝缘板外围设置有一接地板，所述接地板连接有接地端。

6.根据权利要求1所述的射频滤波器，其特征在于，所述射频滤波器的直径的取值范围为30mm~60mm。

7.根据权利要求1所述的射频滤波器，其特征在于，所述射频滤波器组成的射频滤波器组的宽度和长度的取值范围分别为30mm~90mm和60mm~200mm。

8.根据权利要求1所述的射频滤波器，其特征在于，所述铁氧体的厚度取值范围为10mm~20mm，所述绝缘块的厚度的取值范围为5mm~15mm，所述射频滤波器之间的距离的取值范围为5mm~10mm。

9.一种用于真空处理装置的射频滤波器盒，其特征在于，所述射频滤波器盒包括权利要求1至8任一项所述的射频滤波器。

10.一种真空处理装置，其特征在于，所述射频滤波器包括权利要求9所述的射频滤波器盒。