[实用新型]一种大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件有效
申请号: | 201220454410.X | 申请日: | 2012-09-07 |
公开(公告)号: | CN202913044U | 公开(公告)日: | 2013-05-01 |
发明(设计)人: | 魏志凌;高小平;张炜平 | 申请(专利权)人: | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
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地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 尺寸 oled 蒸镀用掩 模板 组件 | ||
1.一种大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件,包括掩模外框、掩模部以及掩模支撑部,其特征在于,所述掩模部与和固定在所述掩模外框的所述掩模支撑部连接;所述掩模支撑部包括N大于等于2个支撑部单元;所述支撑部单元由所述支撑条构成,所述掩模部上有掩模开口,所述支撑部单元不会遮挡所述掩模开口,所述开口构成掩模图案区。
2.根据权利要求1所述的大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件,其特征在于,所述掩模部至少有一个掩模图案区。
3.根据权利要求1所述的大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件,其特征在于,所述掩模部上任一所述掩模开口置于所述支撑部中相邻的两个所述支撑条之间,相邻的所述支撑条的间距是所述掩模开口间距的M倍,所述M大于等于1且为正整数。
4.根据权利要求1所述的大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件,其特征在于,所述支撑部采用具有磁性能的合金材料结构。
5.根据权利要求4所述的大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件,其特征在于,所述支撑部采用因瓦合金材料结构。
6.根据权利要求1所述的大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件,其特征在于,所述掩模部采用耐磨、耐高温、耐酸碱且与所述支撑层之间有良好附着力的材料结构。
7.根据权利要求6所述的大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件,其特征在于,所述掩模部采用性能稳定的聚合高分子材料结构。
8.根据权利要求1所述的大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件,其特征在于,所述支撑部厚度大于等于20μm,小于等于60μm。
9.根据权利要求8所述的大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件,其特征在于,所述支撑部厚度为20μm或30μm或40μm或50μm或60μm。
10.根据权利要求1所述的大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件,其特征在于,所述掩模部厚度大于等于2μm,小于等于20μm。
11.根据权利要求10所述的大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件,其特征在于,所述掩模部厚度为2μm或6μm或10或14μm或18μm或20μm。
12.根据权利要求1所述的大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件,其特征在于,所述掩模开口间距大于等于30μm小于等于200μm。
13.根据权利要求12所述的大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件,其特征在于,所述掩模开口间距大于等于50μm小于等于100μm。
14.根据权利要求1所述的大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件,其特征在于,构成所述支撑部相邻所述支撑部单元之间可以紧密贴合或者存在一定的支撑部单元间距。
15.根据权利要求1所述的大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件,其特征在于,所述支撑部单元间距是所述掩模开口间距的m倍,m为不小于零的整数。
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