[实用新型]机器人和制造装置

说明书

技术领域

公开的实施方式涉及机器人、机器人的设置方法和制造装置。

背景技术

以往，公知有搬送工件的机器人。作为搬送机器人公知有例如水平多关节机器人，该水平多关节机器人利用在水平方向伸缩的臂来搬送工件（参照专利文献1）。

搬送机器人例如在半导体制造装置或液晶制造装置等中用于搬送半导体晶片或玻璃基板等工件。在这种装置中对工件的处理多在减压后的真空罩内进行。因此，搬送机器人也多配置在真空罩内。

在将搬送机器人组装到真空罩的情况下，例如利用桥式起重器等起重器装置吊起搬送机器人移动到真空罩的上方之后，使起重器装置下降并将搬送机器人搬入真空罩内。

专利文献1：日本特许第3881579号公报

可是，近年来玻璃基板或半导体晶片等工件逐渐大型化，并且搬送机器人和真空罩伴随这些工件的大型化也变得大型化。因此，具有难以将搬送机器人设置到真空罩内的可能性。

例如，搬送机器人越大型化，其高度尺寸就越容易变大。因此，为了使大型化的搬送机器人位于真空罩的上方，优选确保搬送机器人的搬入空间、即真空罩上表面的上方的空间更宽敞。但是，当搬送机器人的高度尺寸变大时，收纳搬送机器人的真空罩的高度尺寸也变大，因此难以确保搬送机器人的搬入空间宽敞。

这样，搬送机器人越大型化，可能就越难将搬送机器人设置到真空罩内。

实用新型内容

实施方式的一个形态的目的在于，提供能够容易地设置到罩内的机器人、机器人的设置方法和制造装置。

实施方式的一个形态的机器人具备第一单元和第二单元。第一单元从罩的上方被搬入罩内，并且被固定于罩。第二单元从罩的上方被搬入罩内，并且与已固定于罩内的第一单元相连接。

此外，所述机器人中，所述第一单元的高度尺寸和所述第二单元的高度尺寸之和大于所述罩上方的搬入空间的高度尺寸，所述第一单元和所述第二单元各自的高度尺寸小于所述搬入空间的高度尺寸。

所述机器人中，所述第一单元具有使所述第二单元沿铅直方向升降的升降部，所述第二单元具有在水平方向伸缩的臂部和使所述臂部以平行于铅直方向的回转轴线为中心旋转的回转部。

所述机器人中，所述升降部具有电动机、筒状的轴部以及变换机构，所述变换机构配置在所述轴部的筒内，用于将所述电动机的旋转运动变换为直线运动使所述轴部升降，所述轴部具有引导体，该引导体用于将从所述轴部的上方插入的所述第一单元的配线引导向形成在所述轴部的内周面与所述变换机构之间的配线空间。

所述机器人中，所述第一单元在上部具有在水平方向延伸的第一凸缘部，所述第二单元在下部具有在水平方向延伸的第二凸缘部，通过将所述第一凸缘部和所述第二凸缘部固定在一起，所述第二单元与所述第一单元连接。

所述机器人中，所述第一凸缘部和所述第二凸缘部中的一方具有定位用的凸部，所述第一凸缘部和所述第二凸缘部中的另一方具有与所述凸部卡合的定位用的凹部。

此外，实施方式的一个形态的机器人的设置方法包括固定工序和连接工序。在固定工序中，将机器人的第一单元从罩的上方搬入罩内并固定于罩。在连接工序中，将机器人的第二单元从罩的上方搬入罩内并连接至已固定于罩内的第一单元。

此外，实施方式的一个形态的制造装置具备罩和被设置于罩的机器人。并且，机器人具备第一单元和第二单元。第一单元从罩的上方被搬入罩内，并且被固定于罩。第二单元从罩的上方被搬入罩内，并且与已固定于罩内的第一单元相连接。

根据实施方式的一个形态，能够提供容易地设置到罩内的机器人、机器人的设置方法和制造装置。

附图说明

图1是第一实施方式的机器人的示意立体图。

图2是示出将机器人设置于真空罩后的状态的示意侧视图。

图3是示出机体部和基座部的结构的示意剖视图。

图4是真空罩上方的搬入空间的高度尺寸和机器人的高度尺寸的比较图。

图5A是示出机体部向真空罩设置的设置方法的说明图。

图5B是示出臂单元向真空罩设置的设置方法的说明图。

图6是示出臂单元相对于机体部的大致定位方法的说明图。

标号说明

1：机器人

10：机体部

11：壳体

12：凸缘部

125、126：引导部件

15：升降凸缘部

15a：第一对接凸缘（docking flange）

15b：第二对接凸缘

151：定位销