[实用新型]一种太阳能电池片用纳米薄膜蒸发套件

权利要求书

1.一种太阳能电池片用纳米薄膜蒸发套件，其特征在于：包括球形蒸发样品架，圆柱形空腔（1）和多尺寸样品槽（20）；

所述的圆柱形空腔（1）由圆形顶板（14），圆柱空腔，圆形底板（13）组成；圆柱空腔侧面含有进气孔（4）及观测窗（3），圆形底板含有三个圆形孔洞分别为：真空泵接口的圆形孔洞（7），真空电阻规管接口的圆形孔洞（11）和真空电离规管接口的圆形孔洞（12），分别用来连接真空泵，真空电阻规管，真空电离规管；圆形底板含有下球壳固定架（8），绝缘台（9）以及蒸发用电极（10），球壳固定架（8）有四个对称圆柱及一个具有一定厚度的圆环组成，用来固定下球壳（6），蒸发用电极（10）用来悬挂蒸发丝，其需穿过绝缘台（9）与圆柱形空腔外面的导线相连接，当下球壳（6）固定到下球壳固定架（8）后，绝缘台（9）与蒸发用电极（10）能够穿过下球壳底部圆形孔洞，而蒸发用电极（10）处于球壳球心处；

所述的球形蒸发样品架为一金属球壳，球壳镂空，镂空图案为圆孔阵列，球壳由中心处一剖为二，分为上球壳（17）与下球壳（6），其中下球壳（6）底部挖有一所述的圆形孔洞，上、下球壳的剖切处均焊有圆环固定带，分别称为上球壳圆环固定带（16）、下球壳圆环固定带（5），上、下球壳圆环固定带表面应分别与上、下球壳的切面重合，当上、下球壳圆环固定带贴紧时，上、下球壳应严格吻合，即重新组装成完整球壳，上球壳与所述的圆形顶板（14）固定连接，下球壳与所述的圆形底板（13）固定连接；

所述的多尺寸样品槽（20）下底面为部分球弧面，上底面为正方形平面，多尺寸样品槽上底面四周含有卡槽，用来固定太阳能电池片，其中一边的卡槽可绕此边旋转，方便太阳能电池片的取放，另外此旋转卡槽含有卡箍，与此旋转卡槽相互垂直的两个卡槽上均含有相应的卡扣，当卡箍与卡扣扣紧时，电池片方可固定，多尺寸样品槽下底面含有圆柱阵列。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片用纳米薄膜蒸发套件，其特征在于：所述的球形蒸发样品架为内径38cm、外径39cm的金属球壳。

3.根据权利要求2所述的一种太阳能电池片用纳米薄膜蒸发套件，其特征在于：所述的镂空图案为半径0.1cm圆孔阵列，阵列中圆孔间隔0.2cm。

4.根据权利要求2所述的一种太阳能电池片用纳米薄膜蒸发套件，其特征在于：下球壳（6）底部挖有圆形孔洞的半径为10cm。

5.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片用纳米薄膜蒸发套件，其特征在于：所述的圆柱形空腔的圆形顶板下表面含有一类圆柱体固定用部件（15），用来固定圆形顶板与上球壳。

6.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片用纳米薄膜蒸发套件，其特征在于：所述的圆柱空腔半径60cm，高80cm，厚度4cm，材质为钢。

7.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片用纳米薄膜蒸发套件，其特征在于：所述的多尺寸样品槽（20）下底面为半径38cm的部分球弧面，材料为塑料。

8.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片用纳米薄膜蒸发套件，其特征在于：所述的圆柱阵列中圆柱半径为0.12cm，材质为橡胶，圆柱之间间隔1cm，圆柱高度1.5cm。