[实用新型]一种太阳能电池片用纳米薄膜蒸发套件

说明书

技术领域

本实用新型属于太阳能电池片制造领域，具体的说就是在现有单晶硅太阳能电池生产工艺上，无需对现有生产线进行大规模的改造，利用本装置对生产过程中的太阳能电池进行进一步加工，以实现在其表面蒸镀金属薄膜。

背景技术

现有单晶太阳能电池的生产主要包括表面绒面的制备，PN结的制备，氮化硅减反射层的制备，丝网电极印刷等流程，其中绒面结构与氮化硅减反射层的作用是对入射光进行光捕获，以提高单晶硅太阳能电池对太阳光的有效吸收，而提高单晶硅太阳能电池对太阳光的有效吸收对提高太阳能电池的转换效率有着重要影响。如今有多篇文献报道，如果适当调节氮化硅减反射层的厚度，并且能够在氮化硅减反射层表面蒸镀大小合适的金属颗粒（主要是银），便可以在现有基础上进一步提高单晶硅太阳能电池对太阳光的吸收效率，从而提高转化效率。

发明内容

就目前的生产而言，并没有与单晶硅太阳能电池生产相配套的蒸发装置。同时由于现在工艺已经相当成熟，考虑到企业不能够大规模的改变生产线及生产工艺，我们必须想办法制造出一套能够适用于企业生产线的蒸发装置，并且此装置能够满足高效率的操作，同时保证金属薄膜蒸发的均匀。本实用新型的目的即在于提供一种具有多尺寸、低沉本、大面积、高均匀适用于工业化应用的大面积纳米金属薄膜蒸发套件。

本实用新型采用的技术方案为：一种太阳能电池片用纳米薄膜蒸发套件，包括球形蒸发样品架，圆柱形空腔和多尺寸样品槽；

所述的圆柱形空腔由圆形顶板，圆柱空腔，圆形底板组成；圆柱空腔侧面含有进气孔及观测窗，圆形底板含有三个圆形孔洞分别为：真空泵接口的圆形孔洞，真空电阻规管接口的圆形孔洞和真空电离规管接口的圆形孔洞，分别用来连接真空泵，真空电阻规管，真空电离规管；圆形底板含有下球壳固定架，绝缘台以及蒸发用电极，球壳固定架有四个对称圆柱及一个具有一定厚度的圆环组成，用来固定下球壳，蒸发用电极用来悬挂蒸发丝，其需穿过绝缘台与圆柱形空腔外面的导线相连接，当下球壳固定到下球壳固定架后，绝缘台与蒸发用电极能够穿过下球壳底部圆形孔洞，而蒸发用电极处于球壳球心处；

所述的球形蒸发样品架为一金属球壳，球壳镂空，镂空图案为圆孔阵列，球壳由中心处一剖为二，分为上球壳与下球壳，其中下球壳底部挖有一所述的圆形孔洞，上、下球壳的剖切处均焊有圆环固定带，分别称为上球壳圆环固定带、下球壳圆环固定带，上、下球壳圆环固定带表面应分别与上、下球壳的切面重合，当上、下球壳圆环固定带贴紧时，上、下球壳应严格吻合，即重新组装成完整球壳，上球壳与所述的圆形顶板固定连接，下球壳与所述的圆形底板固定连接；

所述的多尺寸样品槽下底面为部分球弧面，上底面为正方形平面，多尺寸样品槽上底面四周含有卡槽，用来固定太阳能电池片，其中一边的卡槽可绕此边旋转，方便太阳能电池片的取放，另外此旋转卡槽含有卡箍，与此旋转卡槽相互垂直的两个卡槽上均含有相应的卡扣，当卡箍与卡扣扣紧时，电池片方可固定，多尺寸样品槽下底面含有圆柱阵列。

其中，所述的球形蒸发样品架为内径38cm、外径39cm的金属球壳。

其中，所述的镂空图案为半径0.1cm圆孔阵列，阵列中圆孔间隔0.2cm。

其中，下球壳底部挖有圆形孔洞的半径为10cm。

其中，所述的圆柱形空腔的圆形顶板下表面含有一类圆柱体固定用部件，用来固定圆形顶板与上球壳。

其中，所述的圆柱空腔半径60cm，高80cm，厚度4cm，材质为钢。

其中，所述的多尺寸样品槽下底面为半径38cm的部分球弧面，材料为塑料。

其中，所述的圆柱阵列中圆柱半径为0.12cm，材质为橡胶，圆柱之间间隔1cm，圆柱高度1.5cm。

与现有的技术相比，本实用新型的优点在于：

（1）、本实用新型采用球形蒸发样品架，将蒸发源置于球壳中心保证了蒸发均匀。

（2）、本实用新型球形蒸发样品架的大小及多尺寸样品槽的大小是经过计算得出，保证了薄膜均匀性在±5%。

（3）、本实用新型球形蒸发样品架的圆孔阵列镂空结构与多尺寸样品槽圆柱阵列结构保证了二者的固定，而多尺寸样品槽下底面的球弧面设计保证了二者的贴合程度。

（4）、本实用新型将球形蒸发样品架与多尺寸样品槽分开设计是为了实际生产中操作的可实施性，即采用多线操作，一线负责将太阳能电池片安装到多尺寸样品槽中，一线负责将多尺寸样品槽安装到球形蒸发样品架中，使得太阳能电池片的安装工作变得高效。

附图说明

图1为样品的整体图，部分剖开；