[实用新型]基板两面自动检查机有效
| 申请号： | 201220465254.7 | 申请日： | 2012-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN202916209U | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 铃木真也;中谷胜 | 申请（专利权）人： | 白井电子工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 两面 自动 检查 | ||
【权利要求书】：
1.一种基板两面自动检查机，其特征在于，
该基板两面自动检查机包括：
用于载置基板的第一检查台和第二检查台；
用于对载置在所述第一检查台上的基板和载置在所述第二检查台上的基板进行拍摄的拍摄部；
用于将检查对象基板逐张地载置在所述第一检查台上的基板载置部；
用于将载置在所述第一检查台上的基板翻转移动到所述第二检查台上的翻转移动部；
用于将载置在所述第二检查台上的基板从所述第二检查台去除的基板去除部；
用于控制所述基板载置部、所述翻转移动部以及所述基板去除部而控制所述基板的移动定时、并且控制所述拍摄部的拍摄定时的控制部；
用于基于由所述拍摄部拍摄的所述检查对象基板的图像的信息进行该基板的检查的基板检查部。
2.如权利要求1所述的基板两面自动检查机，其特征在于，
该基板两面自动检查机包括临时存储所述拍摄部所拍摄的图像的信息的暂存存储器，
所述基板检查部将存储在所述暂存存储器中的、一个拍摄定时的与所述第二检查台上的基板相对应的图像信息和在所述一个拍摄定时之前一个拍摄定时拍摄的与所述第一检查台上的基板相对应的图像的信息作为对应于同一基板的图像信息来对该基板进行两面检查。
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