[实用新型]一种用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔有效
| 申请号： | 201220475452.1 | 申请日： | 2012-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN202778186U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 赵雄;杜俊平;严大洲;汤传斌;肖荣晖;毋克力;杨永亮;姜利霞 | 申请（专利权）人： | 中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D50/00 | 分类号： | B01D50/00;B01D5/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成;黄德海 |
| 地址： | 100038*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 处理 三氯氢硅 合成 尾气 洗涤 精馏塔 | ||
1.一种用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔，其特征在于，所述洗涤精馏塔包括塔体，所述塔体下部设有合成尾气进口，塔体上部设有洗涤后气出口，所述塔体内包括从上至下依次连接的塔板区、筛板区和挡板区，
其中，所述挡板区位于所述合成尾气进口上方，所述挡板区内径向设置人字挡板，所述人字挡板上设有开口以除去合成尾气中的固体杂质；
所述筛板区内设有筛板，所述筛板将经过所述挡板区处理的合成尾气进行筛选以除去合成尾气中残存的固体杂质；
所述塔板区内设有多层塔板，相邻塔板之间设有溢流堰，所述塔板区将经过所述筛板区处理的合成尾气进行洗涤以除去其中的金属杂质。
2.根据权利要求1所述的用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔，其特征在于，所述人字挡板设有3～5层，各层人字挡板沿塔体轴向交替分布。
3.根据权利要求1所述的用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔，其特征在于，所述筛板设有5～10层。
4.根据权利要求3所述的用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔，其特征在于，所述筛板的筛孔直径为8～14mm，所述筛板沿塔体轴向分布，且从上至下分布的筛板的筛孔直径依次增大。
5.根据权利要求1所述的用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔，其特征在于，所述塔板区内塔板为筛板塔盘或固舌塔盘。
6.根据权利要求5所述的用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔，其特征在于，所述塔板设有10～20层。
7.根据权利要求1所述的用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔，其特征在于，所述塔体底部设有排液口以排出经过洗涤精馏产生的残液。
8.根据权利要求1所述的用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔，其特征在于，所述洗涤精馏塔的操作压力为0.15～0.25MPa。
9.根据权利要求1所述的用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔，其特征在于，所述洗涤精馏塔的操作温度为50～90℃。
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