[实用新型]具有监测半导体晶片状态功能的夹持装置

权利要求书

1.一种具有监测半导体晶片状态功能的夹持装置，其特征在于，所述夹持装置包括：可旋转的卡盘、位于所述卡盘几何中心的旋转轴、固定于所述旋转轴上的传感器、以及分布在所述卡盘上的至少三个夹持元件。

2.如权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，每个夹持元件上安装有压缩弹簧。

3.如权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述卡盘上分布有至少两块可移动的挡块。

4.如权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述夹持装置还包括可相对于所述卡盘转动的凸轮，所述夹持元件的一端与所述凸轮接触。

5.如权利要求4所述的夹持装置，其特征在于，所述夹持元件与凸轮的接触端处设置有滑轮或轴承。

6.如权利要求4所述的夹持装置，其特征在于，所述凸轮通过轴承安装在卡盘上。

7.如权利要求4所述的夹持装置，其特征在于，所述凸轮上设有至少两个长圆孔。

8.如权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述卡盘上设有用于限制所述夹持元件相对于卡盘沿夹持元件的轴线旋转的结构。

9.如权利要求7所述的夹持装置，其特征在于，所述夹持装置还包括位于所述长圆孔内的驱动杆。

10.如权利要求1~9中任一项所述的夹持装置，其特征在于，所述传感器为光纤微弯传感器。