[实用新型]金属有机物化学气相沉积设备喷淋盘的清洁装置

权利要求书

1.一种金属有机物化学气相沉积设备喷淋盘的清洁装置，主要包括密封圈(2)，清扫废物收集盘（3），清洁毛刷安装板（4），旋转电机（5），抽气管路（6），抽气装置(7)，清洁毛刷（8），其特征是：清洁毛刷安装板(4)安装到旋转电机（5）的旋转轴上，清洁毛刷（8）固定安装于清洁毛刷安装板(4)上，清洁毛刷安装板（4）安装于清扫废物收集盘（3）内，抽气管路(6)一端与清扫废物收集盘（3）连接，另一端与抽气装置（7）连接。

2.根据权利要求1所述的金属有机物化学气相沉积设备喷淋盘的清洁装置，其特征在于所述清扫废物收集盘（3）与喷淋盘（1）外形相似、大小基本相同，与整个喷淋盘（1）通过密封圈（2）进行密封。