[实用新型]带加热功能的真空装载腔

权利要求书

1.带加热功能的真空装载腔，主要由腔体组件、底部法兰组件、盖板及加热盘组件构成，上述腔体组件包括：腔体、真空闸板阀和大气闸板阀，腔体由一块铝材加工而成，从上向下加工两个腔室，前后贯通加工出晶圆传输孔道，自下向上加工出共用真空室连通两个腔室，共用真空室与腔室相贯形成连通孔道，真空闸板阀和大气闸板阀分别安装在晶圆传输孔道两端，用O型圈密封；上述底部法兰组件包括：底部法兰、气体扩散器、真空计、真空角阀及真空管路，底部法兰一面为密封面，用O型圈密封于腔体底部的共用真空室的下方，使共用真空室密闭，底部法兰另一面开孔用螺钉分别连接气体扩散器、真空计、真空角阀、真空管路，同样使用O型圈密封，真空角阀通过真空管路连接至泵组，气体扩散器连接氮气管路，上述透明盖板用螺钉紧固在腔室上，由O型圈密封，其特征在于：上述加热盘组件由加热盘、晶圆支架、晶圆支架托盘、升降杆、升降机构、O型圈、冷却水道、端盖及波纹管组成，加热盘组件是加热系统的核心部件，加热盘用螺钉紧固在腔室底部，用O型圈密封，O型圈的槽开在腔室的底部，其下方加工冷却水道，冷却水道由腔体加工槽和端盖焊接而成，晶圆支架安装在晶圆支架托盘上，加热盘边缘设有缺口，使晶圆支架匹配晶圆的凸起部分能够落到加热盘的平面以下，晶圆支架固定在腔体的底部，移动部分通过升降杆穿过腔体连接到晶圆支架托盘的底部，波纹管用螺钉连接在升降杆的法兰和腔体底部，用O型圈密封。

2.如权利要求1所述的带加热功能的真空装载腔，其特征在于：所述的加热盘边缘有四个缺口。