[实用新型]柔性基材表面处理装置

权利要求书

1.一种柔性基材表面处理装置，其特征在于，包括控制系统、电源、真空腔体、在所述真空腔体内相对设置的阴极板和阳极板以及传输装置，所述控制系统控制所述电源的输出电压和输出电流，所述传输装置可携带所述柔性基材从所述阴极板及所述阳极板中间穿过；所述阴极板及所述阳极板上分别设有冷却水管，所述阴极板上设有与所述真空腔体连通的工艺气体管。 

2.根据权利要求1所述的柔性基材表面处理装置，其特征在于，所述电源的输出电压恒定，电压范围为600V～3000V。 

3.根据权利要求1所述的柔性基材表面处理装置，其特征在于，所述电源的输出功率恒定，为0.2～1.5kW。 

4.根据权利要求1所述的柔性基材表面处理装置，其特征在于，所述真空腔体的工作环境的真空度为2～8E^-2Torr。 

5.根据权利要求1所述的柔性基材表面处理装置，其特征在于，所述工艺气体管有两个，分别设在所述阴极板与所述阳极板相对的一侧的两端。 

6.根据权利要求1所述的柔性基材表面处理装置，其特征在于，所述工艺气体管中通入的工艺气体为氩气，向所述真空腔体中通入的所述氩气的流量为100～700sccm。