[实用新型]柔性基材表面处理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及柔性基材加工领域，特别是涉及一种柔性基材表面处理装置。 

背景技术

触摸屏产品的触摸屏用复合薄膜的制备，一般是以PET（Polyethylene terephthalate，聚对苯二甲酸乙二醇酯）基材等柔性基材为基础，对柔性基材的表面进行处理后再进行后续的生产工艺。目前常用的柔性基材的结构为HC（hard coating，硬涂层）/PET，此柔性基材在进行后期的生产工艺前，要先进行脱气处理。 

传统柔性基材脱气处理的方法是在基材表面没有经过处理的情况下，把柔性基材置于真空腔室内，采用红外线加热管升温，通过辐射传递热量来达到脱气的目的，脱气效果由加热器辐射能量来保证。由于真空腔室内能量转换方式为热辐射，能量转换效率低，脱气时间长，因此，处理效率低下。 

实用新型内容

基于此，有必要提供一种柔性基材脱气处理效率较高的处理装置。 

一种柔性基材表面处理装置，包括控制系统、电源、真空腔体、在所述真空腔体内相对设置的阴极板和阳极板以及传输装置，所述控制系统控制所述电源的输出电压和输出电流，所述传输装置可携带所述柔性基材从所述阴极板及所述阳极板中间穿过；所述阴极板及所述阳极板上分别设有冷却水管，所述阴极板上设有与所述真空腔体连通的工艺气体管。 

在其中一个实施例中，所述电源的输出电压恒定，电压范围为600V～3000V。 

在其中一个实施例中，所述电源的输出功率恒定，为0.2～1.5kW。 

在其中一个实施例中，所述真空腔体的工作环境的真空度为2～8E^-2Torr。 

在其中一个实施例中，所述工艺气体管有两个，分别设在所述阴极板与所 述阳极板相对的一侧的两端。 

在其中一个实施例中，所述工艺气体管中通入的工艺气体为氩气，向所述真空腔体中通入的所述氩气的流量为100～700sccm。 

上述柔性基材表面处理装置利用高压在阳极板与阴极板之间形成高能粒子，利用此高能粒子轰击柔性基材，一方面可以在柔性基材表面为后期生产工艺提供悬键；另一方面高能粒子轰击在柔性基材表面，利用高能粒子发光时产生的热量对柔性基材进行烘烤，加快柔性基材表面吸附水的脱离，增加了原膜的脱气效果，较之传统的热辐射脱气处理，能力转换效率高，可以显著加快柔性基材的表面处理时间，提高生产效率。 

附图说明

图1为一实施方式的柔性基材表面处理装置的结构示意图； 

图2为一实施方式的柔性基材表面处理方法的流程图。 

具体实施方式

下面结合附图对柔性基材表面处理装置和处理方法进行进一步详细的说明。 

如图1所示，一实施方式的柔性基材表面处理装置100包括控制系统（图未示）、电源（图未示）、传输装置110，真空腔体120、阴极板130及阳极板140。阴极板130与阳极板140相对设置。此外，在本实施方式中，阴极板130及阳极板140上分别设有冷却水管150和冷却水管160。阴极板130上设有与真空腔体120连通的工艺气体管170。 

该柔性基材表面处理装置100主要用于对柔性基材，如PET基材进行表面处理。以下以PET基材200为例进行说明。 

本实施方式的控制系统主要用于控制电源的输出电压和输出功率。控制系统中设有两种工作模式，电压模式和功率模式。其中电压模式保证在PET基材表面处理过程中阴极板130及阳极板140之间的输出电压稳定，而可以控制输出电流的变化，如输出电压为600V～3000V不等，输出电流可以为1A。处于电 压模式下，可以使得后续对PET基材处理时，轰击到PET层表面的高能粒子的能量比较稳定，从而有利于维持整个PET基材的温度稳定，便于其表面处理时间的控制。功率模式及电源的输出功率恒定，如可以0.2～1.5kW不等，可以保证作用在基材表面的高能粒子的浓度比较平均，有利于整个PET基材均匀脱去水汽。 

传输装置110可携带PET基材200从阴极板130及阳极板140中间穿过。用于本处理装置表面处理的PET基材200包括层叠设置的硬涂层和PET层。传输装置110携带PET基材200并使其PET与阴极板130相对，硬涂层与阳极板140相对。可以理解，在其他实施方式中，可以没有传输装置110，如可以手工防止PET基材200等。