[实用新型]一种变节距夹具

权利要求书

1.一种变节距夹具，其特征在于：包括由顶板、底板以及两侧板围成的框架、位于框架内的沿两侧板内表面能够上下滑动的多层硅片搁置板以及分设在多层搁置板两侧的两块调节板；所述多层硅片搁置板之间具有间隙，每层间隙两端均设有间距垫片；所述间距垫片首端为薄部，尾端为厚部并具有燕尾凸块，中间为渐变斜面，所述薄部插入所述间隙中，所述调节板内表面具有竖向延伸的放置所述燕尾凸块的燕尾滑槽，另外还包括有驱动所述两块调节板同时向中心或者向外侧运动的驱动机构。

2.根据权利要求1所述的变节距夹具，其特征在于：所述侧板内表面具有两道竖向的滑槽，所述硅片搁置板两端分别具有两个位于所述滑槽内的凸出滑块。

3.根据权利要求1所述的变节距夹具，其特征在于：所述硅片搁置板具有掏空区域。

4.根据权利要求1所述的变节距夹具，其特征在于：所述驱动机构为安装在框架上的调节螺杆，所述两块调节板具有配合在调节螺杆上的且二者螺纹方向相反的螺纹孔。