[实用新型]一种变节距夹具有效
申请号: | 201220518097.1 | 申请日: | 2012-10-11 |
公开(公告)号: | CN202839579U | 公开(公告)日: | 2013-03-27 |
发明(设计)人: | 朱绍明;戴军 | 申请(专利权)人: | 苏州罗博特科自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L31/18 |
代理公司: | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人: | 张坚 |
地址: | 215000 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 变节 夹具 | ||
技术领域
本实用新型属于光伏硅片生产设备技术领域,尤其涉及光伏硅片生产设备中的变节距夹具。
背景技术
为了提高光伏硅片扩散工艺的产能,在不改变工艺主设备的情况下,将硅片载具石英舟节距变小(如从4.76mm变为4.05mm)是最为便捷和广泛采用的方法。扩散工艺进行之前,硅片需要从另一种载具花篮倒入石英舟;工艺完成之后,硅片需要从石英舟倒入花篮以便将硅片传送到下一道工艺。因为工艺间的硅片传送都采用4.76mm的花篮,所以当石英舟节距为4.76mm时,人工倒片时,只需将两个载具对齐就可以将硅片从一个载具推至另一个载具。但是当石英舟节距不是4.76mm时,就不能采用这种方法。目前采用的人工倒片方法是:用吸盘一片一片将硅片从一个载具吸起然后插入另外一个载具。这种方法效率低下,劳动强度大,且碎片率不可控。
实用新型内容
为此,本实用新型所要解决的技术问题是提供一种变节距夹具,该变节距夹具可以快速、平稳、方便地在两种不同节距载具间进行倒片,以克服现有技术存在的不足。
为解决上述技术问题,本实用新型采用如下的技术方案:
一种变节距夹具,其特征在于:包括由顶板、底板以及两侧板围成的框架、位于框架内的沿两侧板内表面能够上下滑动的多层硅片搁置板以及分设在多层搁置板两侧的两块调节板;所述多层硅片搁置板之间具有间隙,每层间隙两端均设有间距垫片;所述间距垫片首端为薄部,尾端为厚部并具有燕尾凸块,中间为渐变斜面,所述薄部插入所述间隙中;所述调节板内表面具有竖向延伸的放置所述燕尾凸块的燕尾滑槽,另外还包括有驱动所述两块调节板同时向中心或者向外侧运动的驱动机构。
所述侧板内表面具有两道竖向的滑槽,所述硅片搁置板两端分别具有两个位于所述滑槽内的凸出滑块。这样,侧板能够约束硅片搁置板沿侧板内表面上下竖向滑动。
为了减小与硅片的摩擦,以使得硅片能够容易和方便的推入和推出硅片搁置板,所述硅片搁置板具有掏空区域。
所述驱动机构为安装在框架上的调节螺杆,所述两块调节板具有配合在调节螺杆上的且二者螺纹方向相反的螺纹孔。这样通过调节螺杆的旋转来实现驱动两块调节板同时向中心或者向外侧运动。
采用上述技术方案,本实用新型的变节距夹具可以快速变换硅片之间的间距,从而能够实现快速、平稳、方便地在两种不同节距载具间进行倒片。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明:
图1为本实用新型的立体结构示意图。
图2为本实用新型的正面结构示意图。
图3为图2中A-A向剖视图。
图4为本实用新型的间距垫片与硅片搁置板之间配合关系示意图;
图5为本实用新型的侧板结构示意图;
图6为本实用新型的硅片搁置板的结构示意图;
图7为本实用新型的间距垫片的结构示意图;
图8为本实用新型的调节板的结构示意图;
图9为本实用新型的动作示意图。
具体实施方式
如图1、图2、图3所示,本实用新型的变节距夹具,包括框架100、多层硅片搁置板200、多块间距垫片300、两块调节板403以及驱动机构。
其中,框架100由一个顶板110、一个底板120以及两块分立于左右两侧的侧板130合围而成,框架100的前后形成开口,可以让硅片进出。
如图5所示,侧板130的内表面位于两侧具有竖向延伸的滑槽131,中间具有竖向延伸的条状缺口132。
图6所示,每块硅片搁置板200的厚度为2mm,两端分别具有两个凸出滑块201。结合图3所示,该凸出滑块201装配时,位于侧板130的滑槽131内。这样,硅片搁置板200在侧板130的滑槽131的约束下,可沿着侧板130上下运动。为减小与硅片的摩擦,以使得硅片能够方便容易的推入和推出硅片搁置板,硅片搁置板200的前后侧均具有掏空区域202。
如图7所示,间距垫片300为长条形垫片,首端为薄部301,厚度为2.05mm,尾端为厚部302,厚度为2.76mm,中间为渐变斜面303。在间距垫片300的尾部还具有燕尾凸块304。装配时,结合图4所示,每块间距垫片300的薄部是插入相邻硅片搁置板200形成的间隙中。
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