[实用新型]测距器及化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种测距器，其特征在于，包括： 

一外体，所述外体带有一空腔，内壁上设有卡位部件； 

一内体，外表面设有与所述外体卡位部件的相匹配的卡位部件，所述内体下端通过外表面的卡位部件卡接所述外体卡位部件固定在所述空腔的内部。 

2.如权利要求1所述的测距器，其特征在于，所述空腔为圆柱形。 

3.如权利要求2所述的测距器，其特征在于，所述空腔深度为1cm~2cm，直径为2.5cm~3.5cm。 

4.如权利要求1所述的测距器，其特征在于，所述内体包括两个相同的圆柱半体和一位于两个圆柱半体之间并连接两个圆柱半体的固定弹簧。 

5.如权利要求4所述的测距器，其特征在于，所述圆柱半体的直径为2.5cm~3.5cm，高度为1cm~3cm。 

6.如权利要求4所述的测距器，其特征在于，所述内体外表面上带有精度为0.1mm~1um的刻度。 

7.如权利要求1所述的测距器，其特征在于，所述外体的卡位部件包括相向设置于所述空腔内壁上的一对带有锯齿的卡条。 

8.如权利要求7所述的测距器，其特征在于，所述内体的卡位部件包括固定在所述内体的外侧壁表面与所述卡条位置上的一对带有锯齿的卡带。 

9.如权利要求8所述的测距器，其特征在于，所述外体上表面和/或顶端边缘上设有标记。 

10.如权利要求1所述的测距器，其特征在于，还包括一复位弹簧，所述复位弹簧分别与所述内体的底部和所述空腔的内底部固定连接。 

11.如权利要求1至10中任一项所述的测距器，其特征在于，所述外体和内体的材质均为陶瓷。 

12.一种化学气相沉积设备，其特征在于，包括如权利要求1至11中任一项所述的测距器。 

13.如权利要求12所述的化学气相沉积设备，其特征在于，还包括： 

反应腔室； 

基座，底部固定在所述反应腔室内的底部； 

加热器，固定在所述基座上； 

喷淋头，顶部固定在所述反应腔室内的顶部，底部表面与加热器上表面平行并保持一定的距离； 

其中，所述测距器，置于所述喷淋头和所述加热器之间，并且所述测距器上表面与所述喷淋头底部表面接触，下表面与所述加热器上表面接触。 

14.如权利要求13所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所述基座通过一体成型的方式与反应腔室固定。 

15.如权利要求13所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所述加热器通过一卡盘和若干螺丝固定在所述基座上端。 

16.如权利要求13所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所喷淋头通过一卡盘和若干螺丝固定在所述反应腔室内顶部。