[实用新型]复合式等离子体表面处理装置有效
| 申请号： | 201220524462.X | 申请日： | 2012-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN202816866U | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 温贻芳;丁琳;王红卫 | 申请（专利权）人： | 苏州工业职业技术学院 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 吕书桁 |
| 地址： | 215104 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 复合 等离子体 表面 处理 装置 | ||
【权利要求书】：
1.复合式等离子体表面处理装置，其特征在于：所述表面处理装置具有一个真空腔，所述真空腔外侧设有可放电在真空腔内侧形成等离子体的外正电极和外负电极，所述真空腔内侧设有放料辊、收料辊、转鼓、内正电极板和内负电极板，其中所述转鼓为可于真空腔内外侧进出切换的容器单元，所述内正电极板和内负电极板为可于水平向及竖直向翻转切换的板件单元，所述外正电极、外负电极、内正电极板和内负电极板外连至电控器。
2.根据权利要求1所述的复合式等离子体表面处理装置，其特征在于：所述真空腔内设有一根以上的导料辊，所述放料辊、导料辊、收料辊形成卷状薄膜材料的传输路径，所述内正电极板和内负电极板分设于传输路径的两侧。
3.根据权利要求2所述的复合式等离子体表面处理装置，其特征在于：所述导料辊为两根，所述内正电极板和内负电极板分设于两根导料辊连线的两侧。
4.根据权利要求1所述的复合式等离子体表面处理装置，其特征在于：所述转鼓为自转型的容器单元，转鼓在真空腔内侧自转。
5.根据权利要求4所述的复合式等离子体表面处理装置，其特征在于：所述转鼓设有伸缩驱动机构，用于带动转鼓伸出真空腔或缩回真空腔。
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