[实用新型]一种减压干燥装置有效
| 申请号： | 201220569368.6 | 申请日： | 2012-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN202860803U | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 周子卿;金基用;王涛;郑铁元;郭总杰;张振宇 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/00 | 分类号： | B05D3/00;B05C13/02;B05C11/02 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;安利霞 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 减压 干燥 装置 | ||
1.一种减压干燥装置，包括：
第一盖体；
第二盖体，用于与第一盖体相配合形成一用于放置待干燥基板的容纳空间，所述第二盖体上设有排气孔；
载物台，设置在容纳空间中，用于承载待干燥基板；
其特征在于，所述第一盖体在朝向载物台的面上设有凸起。
2.根据权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于，所述凸起与所述第一盖体之间可移动配合。
3.根据权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于，所述凸起与所述第一盖体之间可拆卸连接。
4.根据权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于，所述凸起为对称结构。
5.根据权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于，所述第一盖体包括第一端和第二端，所述凸起距离第一端的距离为第一长度，所述凸起距离第二端距离为第二长度。
6.根据权利要求5所述的减压干燥装置，其特征在于，所述第一长度和/或第二长度为第一盖体长度的1/4～1/2。
7.根据权利要求1-6中任何一项所述的减压干燥装置，其特征在于，所述凸起的表面为阶梯状。
8.根据权利要求1-6中任何一项所述的减压干燥装置，其特征在于，所述凸起的表面为曲面。
9.根据权利要求1-6中任何一项所述的减压干燥装置，其特征在于，所述排气孔与一用于抽取容纳空间中气体的抽气泵相连接。
10.根据权利要求1-6中任何一项所述的减压干燥装置，其特征在于，所述载物台上设有用于调整载物台高度的调节器。
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