[实用新型]一种减压干燥装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及干燥处理技术领域，特别是指一种对基板进行干燥处理的减压干燥装置。

背景技术

减压干燥装置是用于为涂覆有光刻胶、涂料等混合化学品的基板提供均与减压干燥处理的设备。如图1所示，为现有的一种减压干燥装置的结构示意图，该装置包括第一盖体100、第二盖体200和载物台300，该载物台300设置在由第一盖体和第二盖体形成的容纳空间中，用于放置待干燥的基板400，该第二盖体200上设有排气孔201，通过抽气装置将容纳空间中的气体从排气孔抽出，图中的箭头方向为气体流向。

由于第一盖体朝向载物台的面为平整面，无法对待干燥基板进行局部区域加压。当需要对基板表面局部进行减薄时，此时只能整体增大抽吸力，导致了基板表面各处的抽吸力都同时增大，无法实现局部调整。

而且，由于待干燥基板400的表面与第一盖体之间的距离相同，而待干燥基板400端部区域距离排气孔较近，使得端部区域受到的吸力较大，而位于中部区域由于距离排气孔较远，使得该处的吸力较小。当进行抽气时，会出现待干燥基板上的吸力不均匀，导致抽气效率不同，即造成光刻胶内溶剂量差异，使得基板表面膜的干燥均一性遭到破坏，将会导致阵列基板因均匀所造成mura问题，对于液晶显示器的所有层皆有不同程度的影响。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，现有的减压干燥装置对待干燥基板进行干燥时，由于第一盖体为平整面，无法对待干燥基板进行局部区域减薄。而且由于待干燥基板距离排气口的距离不同，会出现待干燥基板上的吸力不均匀，导致抽气效率不同，使得基板表面膜的干燥均一性遭到破坏。

为解决上述技术问题，本实用新型的实施例提供一种减压干燥装置，包括：

第一盖体；

第二盖体，用于与第一盖体相配合形成一用于放置待干燥基板的容纳空间，所述第二盖体上设有排气孔；

载物台，设置在容纳空间中，用于承载待干燥基板；

所述第一盖体在朝向载物台的面上设有凸起。

优选地，所述凸起与所述第一盖体之间可移动配合。

优选地，所述凸起与所述第一盖体之间可拆卸连接。

优选地，所述凸起为对称结构。

优选地，所述第一盖体包括第一端和第二端，所述凸起距离第一端的距离为第一长度，所述凸起距离第二端距离为第二长度。

优选地，所述第一长度和/或第二长度为第一盖体长度的1/4～1/2。

优选地，所述凸起的表面为阶梯状。

优选地，所述凸起的表面为曲面。

优选地，所述排气孔与一用于抽取容纳空间中气体的抽气泵相连接。

优选地，所述载物台上设有用于调整载物台高度的调节器。

本实用新型的上述技术方案的有益效果如下：本实用新型将第一盖体朝向载物台的面上设有凸起，通过凸起来缩小待干燥基板和第一盖体之间的空间，从而增大待干燥基板和凸起位置处的第一盖体之间的压力，可以用于提高待干燥基板上任意位置的抽吸力，从而实现了对基板上任意位置表面膜厚度的调整。而且，本实用新型将该凸起设在距离第一盖体两端一定距离的位置，有利于增大待干燥基板中间区域的压力，提高了待干燥基板的进行干燥处理的均匀性，从而实现了基板表面膜的干燥均一性。

附图说明

图1为现有一种减压干燥装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种实施例的减压干燥装置的结构示意图；

图3为本实用新型一种实施例的第一盖体的结构示意图；

图4为本实用新型一种实施例的凸起的放大示意图；

图5为本实用新型第二种实施例的凸起的放大示意图；

图6为本实用新型第二种实施例的减压干燥装置的结构示意图。

图中：100第一盖体、101凸起、102第一端、103第二端、200第二盖体、201排气孔、202控制阀、300载物台、301调节器、400待干燥基板、500抽气泵。

具体实施方式

为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。