[实用新型]一种能够装卸的新型石墨沉积槽

权利要求书

1.一种能够装卸的新型石墨沉积槽，其特征在于：包括支撑装置以及设置在支撑装置内部的沉积槽，所述支撑装置包括若干个U型支撑架（7），U型支撑架（7）串联为纵行结构，且U型支撑架（7）的外部设置有两条平行的支撑棍（5），支撑棍（5）与对应的U型支撑架（7）的端头连接；沉积槽设置在U型支撑架（7）内部，所述沉积槽包括依次连接为U型的底板（6）、侧板（2）以及顶板（3），且底板（6）设置在U型支撑架（7）的底部，侧板（2）设置在U型支撑架（7）的侧壁上，顶板（3）设置在U型支撑架（7）的开口端上，且底板（6）和侧板（2）上设置有气孔（1）。

2.根据权利要求1所述的一种能够装卸的新型石墨沉积槽，其特征在于：所述底板（6）、侧板（2）以及顶板（3）均通过螺钉或者卡扣固定在U型支撑架（7）上对应的位置。

3.根据权利要求1或2所述的一种能够装卸的新型石墨沉积槽，其特征在于：所述U型支撑架（7）的外壁上设置有稳定棍（4），稳定棍（4）设置在支撑棍（5）的下方且与支撑棍（5）平行。

4.根据权利要求3所述的一种能够装卸的新型石墨沉积槽，其特征在于：所述沉积槽采用石墨纤维板制成。