[实用新型]一种返工片清洗机有效
| 申请号： | 201220587829.2 | 申请日： | 2012-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN203265133U | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 孔建武;郭本远;韩宝蓉;黄良吉 | 申请（专利权）人： | 上海神舟新能源发展有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 林君如 |
| 地址： | 201112 上海市闵行*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 返工 清洗 | ||
【权利要求书】：
1.一种返工片清洗机，其特征在于，该清洗机包括：
槽体：用于盛装清洗硅片的氢氟酸；
机械手：用于卡设插有待清洗硅片的花篮，可在水平方向及竖直方向上运动；
清洗延时控制系统：与机械手及槽体传感连接，控制机械手在水平方向及竖直方向上的运动轨迹及停留时间；
操作台：用于放置清洗完成的硅片；
安全保护系统：监控机械手的位置及动作，实现对机械手启动及停止的控制。
2.根据权利要求1所述的一种返工片清洗机，其特征在于，所述的槽体根据清洗需要设有数个清洗槽。
3.根据权利要求2所述的一种返工片清洗机，其特征在于，所述的清洗槽设有2-4个。
4.根据权利要求1所述的一种返工片清洗机，其特征在于，所述的槽体上设有水平位置传感器，机械手上设有竖直位置传感器。
5.根据权利要求4所述的一种返工片清洗机，其特征在于，所述的清洗延时控制系统通过槽体上设置的水平位置传感器控制机械手在水平方向上的运动位置，通过机械手上设置的竖直位置传感器控制机械手将花篮摆放在槽体内的位置并控制清洗时间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海神舟新能源发展有限公司，未经上海神舟新能源发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201220587829.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
