[实用新型]一种返工片清洗机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种硅片清洗装置，尤其是涉及一种返工片清洗机。 

背景技术

返工片清洗机是一种在硅晶体太阳电池生产中重要的工具，目前，深圳S.CExact Equipmeng有限公司生产的手动返工片清洗机，存在着人生安全隐患以及工作效率低的缺陷。返工主要使用氢氟酸将硅片表面的一层氮化硅膜去除，在返工过程中需要人工将插有硅片的花篮放入氢氟酸槽中浸泡，也将人工取出放入清水漂洗。在放取的过程中不但存在HF滴在身体上的危险且HF易挥发，对呼吸道及眼球有危害；整个返工过程为人工操作使得工作极低，每25分钟可返工硅片200片其中因人工操作，过程浪费5分钟。 

实用新型内容

本实用新型的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种采用全自动系统，操作时只需在无酸环境中将插有硅片的花篮放入和取出机械手的返工片清洗机。 

本实用新型的目的可以通过以下技术方案来实现： 

一种返工片清洗机，包括： 

槽体：用于盛装清洗硅片的氢氟酸； 

机械手：用于卡设插有待清洗硅片的花篮，可在水平方向及竖直方向上运动； 

清洗延时控制系统：与机械手及槽体传感连接，控制机械手在水平方向及竖直方向上的运动轨迹及停留时间； 

操作台：用于放置清洗完成的硅片； 

安全保护系统：监控机械手的位置及动作，实现对机械手启动及停止的控制。 

所述的槽体根据清洗需要设有数个清洗槽。 

所述的清洗槽设有2-4个。 

所述的槽体上设有水平位置传感器，机械手上设有竖直位置传感器。 

所述的清洗延时控制系统通过槽体上设置的水平位置传感器控制机械手在水平方向上的运动位置，通过机械手上设置的竖直位置传感器控制机械手将花篮摆放在槽体内的位置并控制清洗时间。 

所述的机械手水平运动至第一个清洗槽上方被水平位置感应器感应到后停止，并开始执行垂直向下运动，被垂直方向位置感应器感应后停止运动，花篮摆放在槽体内，垂直方向感应器感应到后机械手停止动作同时将信号传送给清洗延时控制系统，清洗开始倒计时，当时间到后，清洗延时控制系统发出信号给机械手，此时机械手执行向上的动作，然后做水平运动到达下一个清洗槽，重复上述步骤至清洗结束，机械手通过水平运动把花篮送到操作台上放置，完成清洗过程。 

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点： 

一、安全性高：用全自动系统，操作时只需在无酸环境中将插有硅片的花篮放入和取出机械手，消除了人生安全隐患。 

二、工作效率高：采用本实用新型200片硅片返工只需要20分钟。 

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。 

图中1为第一清洗槽、2为第二清洗槽、3为第三清洗槽、4为机械手、5为操作台、6为清洗延时控制系统。 

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明。 

实施例 

一种返工片清洗机，其结构如图1所示，主要包括槽体、机械手4、操作台5、清洗延时控制系统6以及安全保护系统。其中，槽体设有数个，数量根据清洗需要可以设置2-4个，本实施例中，设有3个，分别为第一清洗槽1、第二清洗槽2以及第三清洗槽3，上述槽体用于盛装清洗硅片的氢氟酸。机械手4用于卡设插有待清洗硅片的花篮，可在水平方向及竖直方向上运动。清洗延时控制系统6与机械手4及槽体传感连接，控制机械手4在水平方向及竖直方向上的运动轨迹及停留时间。 操作台5用于放置清洗完成的硅片。安全保护系统用于监控机械手4的位置及动作，实现对机械手启动及停止的控制。 

在第一清洗槽1、第二清洗槽2以及第三清洗槽3上均设有水平位置传感器，机械手4上设有竖直位置传感器。清洗延时控制系统6通过槽体上设置的水平位置传感器控制机械手4在水平方向上的运动位置，通过机械手4上设置的竖直位置传感器控制机械手4将花篮摆放在槽体内的位置并控制清洗时间。 

整个清洗机的自动控制是由清洗延时控制系统6、机械手4和安全保护系统连接并通过传感技术而实现。当花篮放在机械手4上，按下启动按钮，机械手4水平运动至第一清洗槽1上方被水平位置感应器感应到后停止，并开始执行垂直向下运动，被垂直方向位置感应器感应后停止运动，花篮摆放在第一清洗槽1内，垂直方向感应器感应到后机械手4停止动作同时将信号传送给清洗延时控制系统6，清洗开始倒计时，当时间到后，清洗延时控制系统6发出信号给机械手4，此时机械手4执行向上的动作，然后做水平运动到达第二清洗槽2，重复上述步骤至清洗结束，机械手4通过水平运动把花篮送到操作台5上放置，完成清洗过程。