[实用新型]一种新型显影喷淋机构有效
申请号: | 201220592592.7 | 申请日: | 2012-11-12 |
公开(公告)号: | CN202995257U | 公开(公告)日: | 2013-06-12 |
发明(设计)人: | 魏志凌;高小平;潘世珎;张炜平 | 申请(专利权)人: | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30;B05B13/02;B05B1/02 |
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地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 显影 喷淋 机构 | ||
1.一种新型显影喷淋机构,其特征在于,包括:
喷嘴和由喷嘴排列结构不同的且相互平行规则排列的上喷管组成的上喷管阵列。
2.根据权利要求1所述的新型显影喷淋机构,其特征在于,所述上喷管阵列由两种或两种以上所述喷嘴排列结构不同且等间距相间排布的上喷管组成。
3.根据权利要求1所述的新型显影喷淋机构,其特征在于,所述上喷管横截面平行显影传送方向且垂直于显影传送面。
4.根据权利要求1所述的新型显影喷淋机构,其特征在于,所述喷嘴向下并垂直传送平面且数量至少1个。
5.根据权利要求1所述的新型显影喷淋机构,其特征在于,所述喷嘴为中间喷嘴分布密度大于两侧喷嘴分布密度,且两侧喷嘴的位置对称规则排布。
6.根据权利要求6所述的新型显影喷淋机构,其特征在于,所述喷嘴由中间往两侧的相邻喷嘴间距值构成等差数列。
7.根据权利要求7所述的新型显影喷淋机构,其特征在于,所述喷嘴在不同结构上喷管上的位置在显影传送方向上相互错开。
8.根据权利要求1所述的新型显影喷淋机构,其特征在于,所述喷嘴的喷液形状为实心锥体、虚心椎体或扇面形状,且所述喷嘴喷出喷液存在重合区域。
9.根据权利要求1所述的新型显影喷淋机构,其特征在于,所述新型显影喷淋机构还包括支撑部件。
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