[实用新型]表面形貌测量仪有效
| 申请号： | 201220595248.3 | 申请日： | 2012-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN202974243U | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 李威 | 申请（专利权）人： | 浙江大铭汽车零部件有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 宁波市鄞州金源通汇专利事务所(普通合伙) 33236 | 代理人： | 林君勇 |
| 地址： | 311200 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面 形貌 测量仪 | ||
1.一种表面形貌测量仪，其特征在于：包括仪器测量基座（1），所述的仪器测量基座（1）上部的右侧设有立柱导轨（2），所述的立柱导轨（2）上设有测量升降台（3），所述的测量升降台（3）通过Z向传动系统（4）相升降，所述的Z向传动系统（4）通过Z向电机（5）相传动，所述的Z向传动系统（4）的底部与Z向编码器（6）相连接，所述的测量升降台（3）中设有X向高精度导轨（7），所述的X向高精度导轨（7）与电感传感器（8）相滑动连接，所述的电感传感器（8）的外侧壁设有金钢石探针（9），所述的测量升降台（3）通过X向传动系统（10）相水平位移，所述的X向高精度导轨（7）的上方设有X向信号采集光栅（11）和传感器驱动箱（12），所述的仪器测量基座（1）上部的左侧设有多维工作台（13），所述的多维工作台（13）上设有旋转工作台（14），所述的金钢石探针（9）与旋转工作台（14）相对应分布，所述的传感器驱动箱（12）与显示器（15）相连接。
2.根据权利要求1所述的表面形貌测量仪，其特征在于：所述的Z向电机（5）设在立柱导轨（2）的上部，所述的Z向电机（5）的上部设有Z向手动调整旋钮（17），所述的电感传感器（8）通过X向限位装置（18）相定位，所述的X向限位装置（18）设在测量升降台（3）上。
3.根据权利要求1或2所述的表面形貌测量仪，其特征在于：所述的仪器测量基座（1）设在电机箱（19）的上部，所述的电机箱（19）的底部通过地脚螺钉（20）相定位。
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