[实用新型]非接触式清洗机有效
申请号: | 201220600853.5 | 申请日: | 2012-11-14 |
公开(公告)号: | CN202962971U | 公开(公告)日: | 2013-06-05 |
发明(设计)人: | 曾毅;连杰 | 申请(专利权)人: | 曾毅 |
主分类号: | B08B7/04 | 分类号: | B08B7/04;B08B13/00 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 胡海国 |
地址: | 518000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 接触 清洗 | ||
1.一种非接触式清洗机,其特征在于,包括清洗设备,该清洗设备设有基于纯水顶上压力、表面张力,以及应用高压空气,将清洗基板浮起的浮起装置和垂直于清洗基板端面的用于搬送清洗基板的滚轮,该清洗设备设有依次相邻的超声波清洗装置和洗濯装置。
2.如权利要求1所述的非接触式清洗机,奇特真在于,所述清洗设备还包括位于所述超声波清洗装置前面的电解水清洗装置。
3.如权利要求2所述的非接触式清洗机,奇特真在于,所述电解水清洗装置和超声波清洗装置之间设有水蒸气清洗装置和/或刷子清洗装置。
4.如权利要求1所述的非接触式清洗机,奇特真在于,所述清洗设备的洗濯装置连接一利用风刀的干燥设备,该干燥设备设有基于空气顶升压力的空气浮起装置。
5.如权利要求1-4任一项所述的非接触式清洗机,其特征在于,所述清洗设备两边设有可调整的玻璃挡板。
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